پمپ خلاء مولکولی توربومغناطیسی با ارتعاش پایین CXF-320/3000E

پمپ Maglev، CXF-320/3000E، خنک کننده واتر، ISO-F، کنترل کننده خارجی

پمپ‌های مولکولی معلق مغناطیسی پمپ‌هایی هستند که محور آنها به واسطه نیروی مغناطیسی پشتیبانی می‌شود.

سری پمپ‌های مولکولی معلق مغناطیسی، تجهیزات تولید خلاء هستند که توسط KYKY برای برآوردن نیازهای کاربردی در زمینه‌های تولید نیمه‌رساناهای مدرن، تولید تراشه، آبکاری صنعتی و ابزارهای علمی توسعه یافته‌اند.

یاتاقان های الکترومغناطیسی را "خرس های معلق مغناطیسی فعال" نیز می نامند که از یک یاتاقان مغناطیسی، یک سنسور و یک سیستم کنترل تشکیل شده است. این طراحی دارای پاسخ پویا و تنظیم به موقع، شفت با سرعت بالا و عملکرد قابل اعتماد است.

مزایا:

1. صفر اصطکاک در حین کار و مصرف برق کم

2. به راحتی می توان خلاء بسیار تمیز و خلاء فوق العاده بالا را بدون روغن کاری برای پمپ ها به دست آورد

3. قابلیت استخراج گازهای خورنده برای طولانی مدت

4. ایمنی بالا و عمر طولانی به دلیل محافظت از یاتاقان ها با توپ های سرامیکی دقیق

5. عملکرد تولید برق در صورت قطع ناگهانی برق

6. بدون اصطکاک

7. عاری از آلودگی

8. بدون تعمیر و نگهداری

9. لرزش کم

10. نصب شده در هر جهت.

فن آوری ها:

• فناوری کنترل برای بلبرینگ مغناطیسی:5 محوره به صورت مغناطیسی معلق می شود. این طرح می تواند پاسخ دینامیکی و تنظیم به موقع را با استفاده از فناوری کنترل سیستم تعلیق مغناطیسی مدار بسته فعال پویا مبتنی بر تئوری کنترل بین المللی پیشرفته داشته باشد، به طوری که مزایای قابل توجهی از شفت با سرعت بالا مانند عملیات معلق پایدار و قابل اطمینان را تضمین کند.
• فناوری کنترل محرک موتور:موتور پرسرعت DC و سیستم کنترل سروو با راندمان بالا برای پمپ های معلق مغناطیسی سری اعمال می شود، بنابراین برای داشتن حداکثر انرژی موتور و برای جبران سرعت چرخش شفت به طور خودکار، در نتیجه راه اندازی پایدار، عملکرد قابل اعتماد و عملکرد تنظیم خودکار انرژی دینامیکی تحقق می یابد.
• تکنولوژی روتور کامپوزیت فیبر کربن:روتورهای توربو پمپ های مولکولی تعلیق مغناطیسی سریال از ترکیب آلیاژ آلومینیوم با مقاومت بالا و فیبر کربن سبک ساخته می شوند. در مقایسه با تمام روتورهای آلیاژ آلومینیوم، روتورهای توربو از کاهش وزن و بهبود بسیار زیاد استحکام مشخص می شوند، به طوری که اهداف سرعت چرخش بالا، عملکرد بالا و قابلیت اطمینان بالا به دست می آیند.
• تکنولوژی مقاوم در برابر خوردگی:سطوح قطعات در محفظه‌های پمپ‌های مولکولی تعلیق مغناطیسی سریال با فرآیند خاصی پردازش می‌شوند تا سطوح بتوانند برای مدت طولانی در برابر خوردگی ناشی از گازهای خورنده در فرآیندهای ساخت نیمه‌رسانا مقاومت کنند. علاوه بر این، گازهای بی اثر مانند N2 به طور کامل در محور پمپ ها پر می شوند تا از قطعات خلاء کم در پمپ ها محافظت کنند، به طوری که عملکرد گازهای خورنده پایدار برای مدت طولانی تحقق می یابد.
• سیستم کنترل دمای گرمایش:سری پمپ‌های مولکولی شناور مغناطیسی مجهز به یک بخاری الکتریکی و یک کنترل‌کننده دما هستند، به طوری که آب خنک‌کننده، گرمایش هوا-استخوان، گرمایش الکتریکی و گرمای حمل شده توسط گازهای محافظ در حین کار قابل نظارت و کنترل است، دمای پمپ‌ها را می‌توان برای مدت طولانی در مقداری حفظ کرد، برخی از مواد گازی در دمای معمولی به مواد جامد تبدیل نمی‌شوند.

مشخصات:

برنامه های کاربردی:

سری پمپ های مولکولی معلق مغناطیسی عمدتاً در زمینه های تولید نیمه هادی ها، ساخت گیره، آبکاری صنعتی و ابزارهای علمی، به ویژه برای استخراج گازهای خورنده موجود در اچ، CVD، PVD و کاشت یون و گازهایی که به راحتی در دمای معمولی منعقد می شوند، استفاده می شود.