ปั๊มสุญญากาศ Turbomolecular แบบลอยด้วยแม่เหล็ก การสั่นสะเทือนต่ำ CXF-320/3000E

ปั๊มแม็กเลฟ , CXF-320/3000E , ระบายความร้อนด้วยน้ำ , ISO-F , คอนโทรลเลอร์ภายนอก

ปั๊มโมเลกุลที่ลอยด้วยแม่เหล็กคือปั๊มที่รองรับเพลาโดยอาศัยแรงแม่เหล็ก

ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กซีรีส์เป็นอุปกรณ์สร้างสุญญากาศที่พัฒนาโดย KYKY เพื่อตอบสนองข้อกำหนดการใช้งานในด้านการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่ การผลิตชิป การชุบทางอุตสาหกรรม และเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์

แบริ่งแม่เหล็กไฟฟ้าเรียกอีกอย่างว่า "หมีลอยแม่เหล็กแบบแอคทีฟ" ซึ่งประกอบด้วยแบริ่งแม่เหล็ก เซ็นเซอร์ และระบบควบคุม การออกแบบนี้มีการตอบสนองแบบไดนามิกและการปรับให้ทันเวลา การใช้เพลาความเร็วสูงและการทำงานที่เชื่อถือได้

ข้อดี:

1. ไม่มีแรงเสียดทานระหว่างการทำงานและใช้พลังงานต่ำ

2. ง่ายต่อการรับสุญญากาศสูงและสุญญากาศสูงพิเศษที่สะอาดจริง ๆ โดยไม่ต้องหล่อลื่นปั๊ม

3. สามารถสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้ในระยะยาว

4. ความปลอดภัยสูงและอายุการใช้งานยาวนานเนื่องจากการปกป้องตลับลูกปืนด้วยลูกเซรามิกที่มีความแม่นยำ

5. ฟังก์ชั่นสร้างพลังงานในกรณีที่ไฟฟ้าดับกะทันหัน

6. ปราศจากแรงเสียดทาน

7. ปราศจากมลภาวะ

8. ไม่มีการบำรุงรักษา

9. การสั่นสะเทือนต่ำ

10.ติดตั้งในทิศทางใดก็ได้

เทคโนโลยี:

• เทคโนโลยีการควบคุมสำหรับแบริ่งแม่เหล็ก:ลอยด้วยแม่เหล็ก 5 แกน การออกแบบนี้สามารถมีการตอบสนองแบบไดนามิกและการปรับเปลี่ยนได้ทันท่วงทีโดยใช้เทคโนโลยีการควบคุมระบบกันสะเทือนแม่เหล็กวงจรปิดแบบไดนามิกตามทฤษฎีการควบคุมระหว่างประเทศขั้นสูง เพื่อรับประกันข้อได้เปรียบที่สำคัญดังกล่าวของเพลาความเร็วสูงเนื่องจากการทำงานลอยได้อย่างมั่นคงและเชื่อถือได้
• เทคโนโลยีการควบคุมมอเตอร์ไดรฟ์:มอเตอร์กระแสตรงความเร็วสูงและระบบควบคุมเซอร์โวประสิทธิภาพสูงถูกนำไปใช้กับปั๊มลอยด้วยแม่เหล็กซีรีส์ เพื่อให้มีพลังงานสูงสุดของมอเตอร์และเพื่อชดเชยความเร็วในการหมุนของเพลาโดยอัตโนมัติ จึงทำให้สตาร์ทเครื่องได้อย่างมั่นคง การทำงานที่เชื่อถือได้ และฟังก์ชั่นการควบคุมอัตโนมัติของพลังงานไดนามิก
• เทคโนโลยีโรเตอร์คอมโพสิตคาร์บอนไฟเบอร์:โรเตอร์เทอร์โบของปั๊มโมเลกุลระบบกันสะเทือนแม่เหล็กแบบอนุกรมทำโดยการผสมอลูมิเนียมอัลลอยด์ที่มีความแข็งแรงสูงและคาร์บอนไฟเบอร์น้ำหนักเบา เมื่อเปรียบเทียบกับโรเตอร์อะลูมิเนียมอัลลอยด์ทั้งหมด โรเตอร์เทอร์โบมีลักษณะพิเศษคือลดน้ำหนักได้ดีเยี่ยมและมีการปรับปรุงความแข็งแกร่งได้ดีมาก เพื่อให้บรรลุเป้าหมายที่มีความเร็วในการหมุนสูง ประสิทธิภาพสูง และความน่าเชื่อถือสูง
• เทคโนโลยีต้านทานการกัดกร่อน:พื้นผิวของชิ้นส่วนในห้องของปั๊มโมเลกุลแขวนลอยแม่เหล็กแบบอนุกรมได้รับการบำบัดด้วยกระบวนการพิเศษ เพื่อให้พื้นผิวสามารถต้านทานการกัดกร่อนที่เกิดจากก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้เป็นเวลานาน นอกจากนี้ ก๊าซเฉื่อยเช่น N2 จะถูกเติมเข้าไปในเพลาของปั๊มจนเต็มเพื่อป้องกันชิ้นส่วนสุญญากาศต่ำในปั๊ม ดังนั้นจึงตระหนักถึงการทำงานของก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่ปล่อยออกมาอย่างเสถียรเป็นเวลานาน
• ระบบควบคุมอุณหภูมิความร้อน:ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กซีรีส์มีเครื่องทำความร้อนไฟฟ้าและตัวควบคุมอุณหภูมิ เพื่อให้สามารถเฝ้าติดตามและควบคุมน้ำหล่อเย็น การทำความร้อนด้วยกระดูกอากาศ การทำความร้อนด้วยไฟฟ้า และความร้อนที่นำพาโดยก๊าซป้องกันระหว่างการทำงานได้ สามารถรักษาอุณหภูมิในปั๊มไว้ที่ค่าบางค่าได้ในระยะยาว สารก๊าซบางชนิดจะไม่ถูกแปลงเป็นสารของแข็งที่อุณหภูมิปกติและจะไม่สะสมอยู่ในปั๊ม และสามารถตอบสนองข้อกำหนดสำหรับกระบวนการพิเศษ เช่น การแกะสลักได้

ข้อมูลจำเพาะ:

การใช้งาน:

ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กซีรีส์ส่วนใหญ่นำไปใช้กับสาขาการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การผลิตคลิป การชุบทางอุตสาหกรรม และเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่มีอยู่ในการกัดกรด CVD PVD และการฝังไอออน และก๊าซที่จับตัวเป็นก้อนได้ง่ายที่อุณหภูมิปกติ