Pompa vakum turbomolekuler yang terlevitasi secara magnetik getaran rendah CXF-320/3000E

Pompa Maglev, CXF-320/3000E, Pendingin Waterr, ISO-F, Pengontrol eksternal

Pompa molekuler yang melayang secara magnetis adalah pompa yang porosnya ditopang oleh gaya magnet.

Pompa molekuler seri yang melayang secara magnetis adalah peralatan pembangkit vakum yang dikembangkan oleh KYKY untuk memenuhi persyaratan aplikasi di bidang manufaktur semikonduktor modern, manufaktur chip, pelapisan industri, dan instrumen ilmiah.

Bantalan elektromagnetik juga disebut "beruang levitasi magnetik aktif", yang terdiri dari bantalan magnet, sensor, dan sistem kontrol. Desain ini memiliki respons dinamis dan penyesuaian tepat waktu, poros berkecepatan tinggi, dan pengoperasian yang andal.

Keuntungannya:

1. Nol gesekan selama pengoperasian, dan konsumsi daya rendah

2. Mudah untuk mendapatkan vakum tinggi dan vakum ultrahigh yang benar-benar bersih tanpa pelumasan untuk pompa

3. Mampu mengekstraksi gas korosif untuk jangka panjang

4. Keamanan tinggi dan masa pakai yang lama karena perlindungan bantalan dengan bola keramik presisi

5. fungsi pembangkit listrik jika terjadi pemadaman listrik secara tiba-tiba

6. Bebas gesekan

7. Bebas polusi

8. Bebas perawatan

9. Getaran rendah

10. dipasang di orientasi apa pun.

Teknologi:

• Teknologi Kontrol untuk Bantalan Magnetik:5 sumbu melayang secara magnetis. Desain ini dapat memiliki respons dinamis dan penyesuaian tepat waktu melalui teknologi kontrol suspensi magnetik sirkuit tertutup aktif dinamis berdasarkan teori kontrol internasional yang canggih, sehingga menjamin keuntungan signifikan dari poros berkecepatan tinggi seperti pengoperasian melayang yang stabil dan andal.
• Teknologi Kontrol Penggerak Motor:Motor DC berkecepatan tinggi dan sistem kontrol servo dengan efisiensi tinggi diterapkan pada pompa seri yang melayang secara magnetis, sehingga memiliki energi maksimum pada motor dan untuk mengkompensasi kecepatan putar poros secara otomatis, sehingga mewujudkan start-up yang stabil, pengoperasian yang andal, dan pengaturan otomatis fungsi energi dinamis.
• Teknologi rotor komposit serat karbon:Rotor turbo pompa molekuler suspensi magnetik serial dibuat dengan menggabungkan paduan aluminium berkekuatan tinggi dan serat karbon ringan. Dibandingkan dengan semua rotor paduan aluminium, rotor turbo memiliki ciri pengurangan bobot yang besar dan peningkatan kekuatan yang besar, sehingga target kecepatan putar tinggi, kinerja tinggi, dan keandalan tinggi tercapai.
• Teknologi tahan korosi:Permukaan bagian-bagian dalam ruang pompa molekuler suspensi magnetik serial diperlakukan dengan proses khusus, sehingga permukaan tersebut dapat menahan korosi yang disebabkan oleh gas korosif dalam proses pembuatan semikonduktor dalam waktu yang lama. Selain itu, gas inert seperti N2 terisi penuh di poros pompa untuk melindungi bagian vakum rendah di pompa, sehingga fungsi pembuangan gas korosif secara stabil dalam jangka waktu lama dapat diwujudkan.
• Sistem kontrol suhu pemanasan:Seri pompa molekuler yang melayang secara magnetis dilengkapi dengan pemanas listrik dan pengontrol suhu, sehingga air pendingin, pemanas tulang udara, pemanas listrik, dan panas yang dibawa oleh gas pelindung dapat dipantau dan dikontrol selama pengoperasian, suhu di dalam pompa dapat dipertahankan pada nilai tertentu untuk jangka panjang, beberapa zat gas tidak diubah menjadi zat padat pada suhu normal dan tidak disimpan di dalam pompa, dan persyaratan untuk proses khusus seperti etsa dapat dipenuhi.

Spesifikasi:

Aplikasi:

Seri pompa molekuler yang melayang secara magnetis terutama diterapkan pada bidang manufaktur semikonduktor, manufaktur klip, pelapisan industri dan instrumen ilmiah, terutama untuk ekstraksi gas korosif yang ada dalam etsa, CVD, PVD dan implantasi ion serta gas yang mudah terkoagulasi pada suhu normal.