Магнитно левитированный турбомолекулярный вакуумный насос низкой вибрации CXF-320/3000E

Насос Maglev , CXF-320/3000E , Водяное охлаждение , ISO-F , Внешний контроллер

Молекулярные насосы на магнитной подвеске — это насосы, валы которых поддерживаются за счет магнитной силы.

Серия молекулярных насосов на магнитной подвеске представляет собой оборудование для генерации вакуума, разработанное KYKY для удовлетворения требований применения в областях современного производства полупроводников, производства чипов, промышленного нанесения покрытий и научных приборов.

Электромагнитный подшипник также называют «активными магнитными левитирующими медведями», он состоит из магнитного подшипника, датчика и системы управления. Данная конструкция отличается динамичным откликом и своевременной регулировкой, высокоскоростным валом и надежной работой.

Преимущества:

1. Нулевое трение во время работы и низкое энергопотребление.

2. Легко получить действительно чистый высокий и сверхвысокий вакуум без смазки для насосов.

3. Способен извлекать агрессивные газы в течение длительного времени.

4. Высокая безопасность и длительный срок службы благодаря защите подшипников прецизионными керамическими шариками.

5. Функция генерации энергии в случае внезапного отключения питания

6. Без трения

7. Без загрязнения

8. Без обслуживания

9. Низкая вибрация.

10. устанавливается в любой ориентации.

Технологии:

• Технология управления магнитным подшипником:5-осевой магнитно-левитационный. Эта конструкция может иметь динамический отклик и своевременную регулировку с помощью технологии динамического активного управления магнитной подвеской с замкнутым контуром, основанной на передовой международной теории управления, чтобы гарантировать такие значительные преимущества высокоскоростного вала, как стабильная левитация и надежная работа.
• Технология управления приводом двигателя:Высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления применяются в серийных насосах с магнитной подвеской, чтобы обеспечить максимальную энергию двигателя и автоматически компенсировать скорость вращения вала, тем самым обеспечивая стабильный запуск, надежную работу и функцию автоматического регулирования динамической энергии.
• Технология композитного ротора из углеродного волокна:Турбороторы серийных молекулярных насосов с магнитной подвеской изготавливаются путем соединения высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. По сравнению с роторами из всех алюминиевых сплавов турбороторы характеризуются значительным уменьшением веса и значительным улучшением прочности, что позволяет достичь высоких скоростей вращения, высокой производительности и высокой надежности.
• Технология защиты от коррозии:Поверхности деталей в камерах серийных молекулярных насосов с магнитной подвеской обрабатываются специальной обработкой, благодаря чему поверхности могут в течение длительного времени противостоять коррозии, вызываемой агрессивными газами в процессах производства полупроводников. Кроме того, такие инертные газы, как N2, полностью заполнены валами насосов для защиты низковакуумных частей насосов, благодаря чему реализуется функция стабильного отвода агрессивных газов в течение длительного времени.
• Система контроля температуры нагрева:Серийные молекулярные насосы на магнитной подвеске оснащены электрическим нагревателем и регулятором температуры, так что охлаждающая вода, нагрев костей воздухом, электрический нагрев и тепло, переносимое защитными газами, могут контролироваться и контролироваться во время работы, температура в насосах может поддерживаться на определенном значении в течение длительного времени, некоторые газообразные вещества не превращаются в твердые вещества при нормальной температуре и не откладываются в насосах, а также могут быть выполнены требования к специальным процессам, таким как травление.

Технические характеристики:

Приложения:

Серийные молекулярные насосы с магнитной подвеской в ​​основном применяются в области производства полупроводников, производства зажимов, промышленного нанесения покрытий и научных инструментов, особенно для извлечения агрессивных газов, существующих при травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, а также газов, легко коагулируемых при нормальной температуре.