Pompa a vuoto turbomolecolare levitata magneticamente a bassa vibrazione CXF-320/3000E

Pompa Maglev, CXF-320/3000E, Raffreddamento ad acqua, ISO-F, Controller esterno

Le pompe molecolari a levitazione magnetica sono le pompe il cui albero è supportato in virtù della forza magnetica.

Le pompe molecolari a levitazione magnetica della serie sono apparecchiature per la generazione del vuoto sviluppate da KYKY per soddisfare i requisiti applicativi per i campi della moderna produzione di semiconduttori, produzione di chip, placcatura industriale e strumenti scientifici.

Il cuscinetto elettromagnetico è anche chiamato “orsi a levitazione magnetica attiva”, costituito da un cuscinetto magnetico, un sensore e un sistema di controllo. Questo design ha una risposta dinamica e una regolazione tempestiva, l'albero ad alta velocità e un funzionamento affidabile.

I vantaggi:

1. Zero attrito durante il funzionamento e basso consumo energetico

2. Facile da ottenere un vuoto elevato e un vuoto ultraelevato davvero puliti senza lubrificazione per le pompe

3. Capace di estrarre gas corrosivi a lungo termine

4. Elevata sicurezza e lunga durata grazie alla protezione dei cuscinetti con sfere in ceramica di precisione

5. funzione di generazione di energia in caso di spegnimento improvviso

6. Privo di attrito

7. Privo di inquinamento

8. Esente da manutenzione

9. Basse vibrazioni

10. installato in qualsiasi orientamento.

Tecnologie:

• Tecnologia di controllo per cuscinetti magnetici:5 assi levitati magneticamente. Questo design può avere una risposta dinamica e una regolazione tempestiva mediante la tecnologia di controllo dinamico delle sospensioni magnetiche attive a circuito chiuso basata su una teoria di controllo internazionale avanzata, in modo da garantire vantaggi significativi dell'albero ad alta velocità come un funzionamento levitato stabile e affidabile.
• Tecnologia di controllo dell'azionamento del motore:Il motore CC ad alta velocità ad alta efficienza e il sistema di servocontrollo vengono applicati alle pompe a levitazione magnetica in serie, in modo da avere la massima energia del motore e compensare automaticamente la velocità di rotazione dell'albero, realizzando così un avvio stabile, un funzionamento affidabile e una funzione di regolazione automatica dell'energia dinamica.
• Tecnologia del rotore composito in fibra di carbonio:I rotori turbo delle pompe molecolari a sospensione magnetica seriale sono realizzati combinando una lega di alluminio ad alta resistenza e una fibra di carbonio leggera. Rispetto a tutti i rotori in lega di alluminio, i rotori turbo sono caratterizzati da una notevole riduzione del peso e da un notevole miglioramento della resistenza, in modo da raggiungere obiettivi di elevata velocità di rotazione, alte prestazioni ed elevata affidabilità.
• Tecnologia resistente alla corrosione:Le superfici delle parti nelle camere delle pompe molecolari a sospensione magnetica seriale vengono trattate con un processo speciale, in modo che le superfici possano resistere a lungo alla corrosione causata dai gas corrosivi nei processi di produzione dei semiconduttori. Inoltre, gas inerti come N2 sono completamente riempiti negli alberi delle pompe per proteggere le parti a basso vuoto delle pompe, in modo da realizzare la funzione di scarico stabile dei gas corrosivi per lunghi periodi.
• Sistema di controllo della temperatura del riscaldamento:Le pompe molecolari a levitazione magnetica della serie sono dotate di un riscaldatore elettrico e un regolatore di temperatura, in modo che l'acqua di raffreddamento, il riscaldamento dell'aria, il riscaldamento elettrico e il calore trasportato dai gas protettivi possano essere monitorati e controllati durante il funzionamento, la temperatura nelle pompe possa essere mantenuta a un certo valore per un lungo periodo, alcune sostanze gassose non vengono convertite in sostanze solide a temperatura normale e non si depositano nelle pompe e possono essere soddisfatti i requisiti per processi speciali come l'attacco.

Specifiche:

Applicazioni:

Le pompe molecolari a levitazione magnetica della serie vengono applicate principalmente ai campi della produzione di semiconduttori, produzione di clip, placcatura industriale e strumenti scientifici, in particolare all'estrazione di gas corrosivi esistenti in attacco, CVD, PVD e impianto di ioni e gas facilmente coagulabili a temperatura normale.