Vibration faible CXF-320/3000E de pompe à vide turbomoléculaire à lévitation magnétique

Pompe Maglev, CXF-320/3000E, refroidissement par eau, ISO-F, contrôleur externe

Les pompes moléculaires à lévitation magnétique sont les pompes dont l'arbre est soutenu en vertu de la force magnétique.

Les pompes moléculaires à lévitation magnétique de la série sont des équipements de génération de vide développés par KYKY pour répondre aux exigences des applications dans les domaines de la fabrication moderne de semi-conducteurs, de la fabrication de puces, du placage industriel et des instruments scientifiques.

Le roulement électromagnétique est également appelé « ours à sustentation magnétique active », composé d'un roulement magnétique, d'un capteur et d'un système de contrôle. Cette conception présente une réponse dynamique et un réglage rapide, un arbre à grande vitesse et un fonctionnement fiable.

Les avantages :

1. Zéro friction pendant le fonctionnement et faible consommation d'énergie

2. Facile à acquérir un vide poussé et un vide ultra poussé vraiment propres sans lubrification pour les pompes

3. Capable d'extraire des gaz corrosifs à long terme

4. Haute sécurité et longue durée de vie grâce à la protection des roulements avec des billes en céramique de précision

5. fonction de production d'énergie en cas de mise hors tension soudaine

6. Sans friction

7. Exempt de pollution

8. Sans entretien

9. Faibles vibrations

10. installé dans n’importe quelle orientation.

Technologies :

• Technologie de contrôle pour roulement magnétique :Lévitation magnétique sur 5 axes. Cette conception peut avoir une réponse dynamique et un ajustement rapide au moyen d'une technologie de contrôle de suspension magnétique active en circuit fermé basée sur une théorie de contrôle internationale avancée, de manière à garantir des avantages aussi significatifs de l'arbre à grande vitesse qu'un fonctionnement stable et fiable en lévitation.
• Technologie de contrôle d'entraînement du moteur :Un moteur à courant continu à grande vitesse et un système de servocommande à haut rendement sont appliqués aux pompes en série à lévitation magnétique, afin d'avoir une énergie maximale du moteur et de compenser automatiquement la vitesse de rotation de l'arbre, réalisant ainsi un démarrage stable, un fonctionnement fiable et une fonction de régulation automatique de l'énergie dynamique.
• Technologie de rotor composite en fibre de carbone :Les rotors turbo des pompes moléculaires à suspension magnétique en série sont fabriqués en mélangeant un alliage d'aluminium à haute résistance et de la fibre de carbone légère. En comparaison avec tous les rotors en alliage d'aluminium, les rotors turbo se caractérisent par une grande réduction de poids et une grande amélioration de la résistance, de sorte que les objectifs de vitesse de rotation élevée, de hautes performances et de haute fiabilité soient atteints.
• Technologie résistante à la corrosion :Les surfaces des pièces dans les chambres des pompes moléculaires à suspension magnétique en série sont traitées avec un processus spécial, de sorte que les surfaces puissent résister pendant une longue période à la corrosion causée par les gaz corrosifs dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. De plus, des gaz inertes tels que le N2 sont entièrement remplis dans l'arbre des pompes pour protéger les pièces à faible vide dans les pompes, de sorte que la fonction d'évacuation stable des gaz corrosifs pendant de longues périodes soit réalisée.
• Système de contrôle de la température de chauffage :Les pompes moléculaires à lévitation magnétique de la série sont équipées d'un chauffage électrique et d'un contrôleur de température, de sorte que l'eau de refroidissement, le chauffage de l'air, le chauffage électrique et la chaleur transportée par les gaz de protection puissent être surveillés et contrôlés pendant le fonctionnement, la température dans les pompes peut être maintenue à une certaine valeur à long terme, certaines substances gazeuses ne sont pas converties en substances solides à température normale et ne se déposent pas dans les pompes, et les exigences d'un processus spécial tel que la gravure peuvent être satisfaites.

Caractéristiques:

Applications :

Les pompes moléculaires à lévitation magnétique de la série sont principalement utilisées dans les domaines de la fabrication de semi-conducteurs, de la fabrication de clips, du placage industriel et des instruments scientifiques, en particulier pour l'extraction des gaz corrosifs présents dans la gravure, le CVD, le PVD et l'implantation ionique et les gaz facilement coagulés à température normale.