Bomba de vacío turbomolecular levitada magnéticamente con baja vibración CXF-320/3000E

Bomba Maglev, CXF-320/3000E, refrigeración por agua, ISO-F, controlador externo

Las bombas moleculares levitadas magnéticamente son bombas cuyo eje está sostenido por fuerza magnética.

Las bombas moleculares de levitación magnética de la serie son equipos de generación de vacío desarrollados por KYKY para cumplir con los requisitos de aplicación en los campos de la fabricación moderna de semiconductores, fabricación de chips, revestimiento industrial e instrumentos científicos.

El rodamiento electromagnético también se denomina "oso levitado magnético activo" y consta de un rodamiento magnético, un sensor y un sistema de control. Este diseño tiene respuesta dinámica y ajuste oportuno, ejes de alta velocidad y operación confiable.

Las ventajas:

1. Cero fricción durante el funcionamiento y bajo consumo de energía.

2. Fácil de adquirir alto vacío y ultraalto vacío realmente limpio sin lubricación para bombas

3. Capaz de extraer gases corrosivos a largo plazo.

4. Alta seguridad y larga vida útil gracias a la protección de los rodamientos con bolas cerámicas de precisión.

5. Función de generación de energía en caso de apagado repentino

6. Libre de fricción

7. Libre de contaminación

8. Libre de mantenimiento

9. Baja vibración

10. instalado en cualquier orientación.

Tecnologías:

• Tecnología de control para rodamientos magnéticos:Levitación magnética de 5 ejes. Este diseño puede tener una respuesta dinámica y un ajuste oportuno mediante tecnología de control de suspensión magnética de circuito cerrado activo dinámico basada en la teoría de control internacional avanzada, para garantizar ventajas tan significativas del eje de alta velocidad como levitación estable y operación confiable.
• Tecnología de control de accionamiento del motor:El motor CC de alta velocidad y alta eficiencia y el sistema de servocontrol se aplican a las bombas en serie con levitación magnética, para obtener la máxima energía del motor y compensar la velocidad de rotación del eje automáticamente, logrando así un arranque estable, una operación confiable y una función de regulación automática de la energía dinámica.
• Tecnología de rotor compuesto de fibra de carbono:Los turborotores de las bombas moleculares de suspensión magnética en serie están fabricados mediante una combinación de aleación de aluminio de alta resistencia y fibra de carbono liviana. En comparación con todos los rotores de aleación de aluminio, los turborotores se caracterizan por una gran reducción de peso y una gran mejora de la resistencia, de modo que se logran objetivos de alta velocidad de rotación, alto rendimiento y alta confiabilidad.
• Tecnología resistente a la corrosión:Las superficies de las piezas en las cámaras de las bombas moleculares de suspensión magnética en serie se tratan con un proceso especial, de modo que las superficies puedan resistir la corrosión causada por gases corrosivos en los procesos de fabricación de semiconductores durante mucho tiempo. Además, gases inertes como el N2 se llenan completamente en el eje de las bombas para proteger las partes de bajo vacío de las bombas, de modo que se realice la función de expulsar de manera estable los gases corrosivos durante largos períodos.
• Sistema de control de temperatura de calefacción:Las bombas moleculares de levitación magnética en serie están equipadas con un calentador eléctrico y un controlador de temperatura, de modo que el agua de refrigeración, el calentamiento de los huesos del aire, el calentamiento eléctrico y el calor transportado por los gases protectores se pueden monitorear y controlar durante la operación, la temperatura en las bombas se puede mantener en algún valor durante un largo plazo, algunas sustancias gaseosas no se convierten en sustancias sólidas a temperatura normal y no se depositan en las bombas, y se pueden cumplir los requisitos de procesos especiales como el grabado.

Presupuesto:

Aplicaciones:

Las bombas moleculares de levitación magnética en serie se aplican principalmente a los campos de fabricación de semiconductores, fabricación de clips, enchapado industrial e instrumentos científicos, especialmente para la extracción de gases corrosivos existentes en grabado, CVD, PVD e implantación de iones y gases que se coagulan fácilmente a temperatura normal.