Bomba de vácuo turbomolecular levitada magneticamente de baixa vibração CXF-320/3000E

Bomba Maglev, CXF-320/3000E, resfriamento Waterr, ISO-F, controlador externo

As bombas moleculares levitadas magneticamente são aquelas cujo eixo é suportado em virtude da força magnética.

As bombas moleculares levitadas magneticamente em série são equipamentos de geração de vácuo desenvolvidos pela KYKY para atender aos requisitos de aplicação nas áreas de fabricação moderna de semicondutores, fabricação de chips, revestimento industrial e instrumentos científicos.

O rolamento eletromagnético também é chamado de “ursos levitados magnéticos ativos”, consistindo de um rolamento magnético, um sensor e um sistema de controle. Este projeto tem resposta dinâmica e ajuste oportuno, eixo de alta velocidade e operação confiável.

As vantagens:

1. Fricção zero durante a operação e baixo consumo de energia

2. Fácil de adquirir alto vácuo realmente limpo e vácuo ultra-alto sem lubrificação para bombas

3. Capaz de extrair gases corrosivos por longo prazo

4. Alta segurança e longa vida útil devido à proteção dos rolamentos com esferas cerâmicas de precisão

5. Função de geração de energia em caso de desligamento repentino

6. Livre de atrito

7. Livre de poluição

8. Livre de manutenção

9. Baixa vibração

10. instalado em qualquer orientação.

Tecnologias:

• Tecnologia de controle para rolamento magnético:5 eixos levitados magneticamente. Este projeto pode ter resposta dinâmica e ajuste oportuno por meio da tecnologia de controle de suspensão magnética de circuito fechado ativo dinâmico baseada na teoria de controle internacional avançada, de modo a garantir vantagens significativas do eixo de alta velocidade como operação levitada estável e confiável.
• Tecnologia de controle de acionamento do motor:O motor DC de alta velocidade e alta eficiência e o sistema de servocontrole são aplicados a bombas levitadas magneticamente em série, para obter a energia máxima do motor e compensar automaticamente a velocidade de rotação do eixo, realizando assim uma partida estável, operação confiável e função de regulação automática de energia dinâmica.
• Tecnologia de rotor composto de fibra de carbono:Os turbo rotores das bombas moleculares de suspensão magnética serial são feitos de liga de alumínio de alta resistência e fibra de carbono leve. Em comparação com todos os rotores de liga de alumínio, os rotores turbo são caracterizados por grande redução de peso e grande melhoria de resistência, de modo que sejam alcançados objetivos de alta velocidade de rotação, alto desempenho e alta confiabilidade.
• Tecnologia de resistência à corrosão:As superfícies das peças nas câmaras das bombas moleculares de suspensão magnética serial são tratadas com processos especiais, para que as superfícies possam resistir por muito tempo à corrosão causada por gases corrosivos nos processos de fabricação de semicondutores. Além disso, gases inertes como o N2 são totalmente preenchidos no eixo das bombas para proteger as partes de baixo vácuo nas bombas, de modo que seja realizada a função de exaustão estável de gases corrosivos por longos períodos.
• Sistema de controle de temperatura de aquecimento:As bombas moleculares levitadas magneticamente em série são equipadas com um aquecedor elétrico e um controlador de temperatura, de modo que a água de resfriamento, o aquecimento do ar-osso, o aquecimento elétrico e o calor transportado pelos gases de proteção possam ser monitorados e controlados durante a operação, a temperatura nas bombas possa ser mantida em algum valor por longo prazo, algumas substâncias gasosas não são convertidas em substâncias sólidas à temperatura normal e não são depositadas nas bombas, e os requisitos para processos especiais, como de gravação, podem ser atendidos.

Especificações:

Aplicações:

As bombas moleculares levitadas magneticamente em série são aplicadas principalmente em campos de fabricação de semicondutores, fabricação de clipes, revestimento industrial e instrumentos científicos, especialmente para extração de gases corrosivos existentes em corrosão, CVD, PVD e implantação de íons e gases facilmente coagulados em temperatura normal.