Magnetisch gelevitated Turbomoleculaire vacuümpomp lage trillingen CXF-320/3000E

Maglev-pomp, CXF-320/3000E, waterkoeling, ISO-F, externe controller

De magnetisch zwevende moleculaire pompen zijn de pompen waarvan de as wordt ondersteund door magnetische kracht.

Serie magnetisch zwevende moleculaire pompen zijn apparatuur voor het genereren van vacuüm, ontwikkeld door KYKY om te voldoen aan toepassingsvereisten op het gebied van moderne halfgeleiderproductie, chipproductie, industriële platering en wetenschappelijke instrumenten.

Het elektromagnetische lager wordt ook wel “actieve magnetische zwevende beren” genoemd, bestaande uit een magnetisch lager, een sensor en een besturingssysteem. Dit ontwerp heeft een dynamische respons en tijdige aanpassing, hoge snelheid en betrouwbare werking.

De voordelen:

1. Geen wrijving tijdens gebruik en laag stroomverbruik

2. Gemakkelijk om echt schoon hoogvacuüm en ultrahoogvacuüm te verkrijgen zonder smering voor pompen

3. Geschikt om corrosieve gassen voor lange termijn te extraheren

4. Hoge veiligheid en lange levensduur dankzij lagerbescherming met keramische precisiekogels

5. energieopwekkingsfunctie in geval van plotselinge uitschakeling

6. Vrij van wrijving

7. Vrij van vervuiling

8. Onderhoudsvrij

9. Lage trillingen

10. geïnstalleerd in elke richting.

Technologieën:

• Besturingstechnologie voor magnetisch lager:5-assig magnetisch zwevend. Dit ontwerp kan een dynamische respons en tijdige aanpassing hebben door middel van dynamische actieve magnetische ophangingsbesturingstechnologie met gesloten circuit, gebaseerd op geavanceerde internationale besturingstheorie, om zulke significante voordelen van de hogesnelheidsschacht te garanderen als een stabiele zwevende en betrouwbare werking.
• Motoraandrijfbesturingstechnologie:Hoogefficiënte DC-motor met hoge snelheid en servobesturingssysteem worden toegepast op seriemagnetisch zwevende pompen, om maximale energie van de motor te hebben en de rotatiesnelheid van de as automatisch te compenseren, waardoor een stabiele start, betrouwbare werking en automatische regelfunctie van dynamische energie wordt gerealiseerd.
• Koolstofvezelcomposietrotortechnologie:De turborotoren van seriële moleculaire pompen met magnetische ophanging zijn gemaakt door een zeer sterke aluminiumlegering en lichtgewicht koolstofvezel te combineren. In vergelijking met alle rotors van aluminiumlegering worden de turborotoren gekenmerkt door een grote gewichtsvermindering en een grote verbetering van de sterkte, zodat doelen van hoge rotatiesnelheid, hoge prestaties en hoge betrouwbaarheid worden bereikt.
• Corrosiebestendige technologie:Oppervlakken van onderdelen in kamers van seriële moleculaire pompen met magnetische ophanging worden behandeld met een speciaal proces, zodat de oppervlakken lange tijd bestand zijn tegen corrosie veroorzaakt door corrosieve gassen in halfgeleiderproductieprocessen. Bovendien worden inerte gassen zoals N2 volledig gevuld in de schachten van de pompen om de laagvacuümdelen in de pompen te beschermen, zodat de functie van het stabiel afvoeren van corrosieve gassen gedurende lange perioden wordt gerealiseerd.
• Verwarmingstemperatuurregelsysteem:Serie magnetisch zwevende moleculaire pompen zijn uitgerust met een elektrische verwarming en een temperatuurregelaar, zodat koelwater, lucht-botverwarming, elektrische verwarming en warmte gedragen door beschermende gassen tijdens bedrijf kunnen worden bewaakt en gecontroleerd, de temperatuur in de pompen op een bepaalde waarde kan worden gehouden voor de lange termijn, sommige gasvormige stoffen bij normale temperatuur niet in vaste stoffen worden omgezet en niet in de pompen worden afgezet, en aan de vereisten voor speciale processen zoals etsen kan worden voldaan.

Specificaties:

Toepassingen:

Serie magnetisch zwevende moleculaire pompen worden voornamelijk toegepast op het gebied van de productie van halfgeleiders, clipproductie, industriële platering en wetenschappelijke instrumenten, vooral voor de extractie van corrosieve gassen die voorkomen bij ets-, CVD-, PVD- en ionenimplantatie en gassen die gemakkelijk worden gecoaguleerd bij normale temperatuur.