Manyetik olarak levitasyonlu Turbomoleküler Vakum Pompası Düşük titreşimli CXF-320/3000E

Maglev Pompası, CXF-320/3000E, Waterr soğutma, ISO-F, Harici kontrolör

Manyetik olarak kaldırılan moleküler pompalar, şaftı manyetik kuvvet sayesinde desteklenen pompalardır.

Seri manyetik olarak kaldırılan moleküler pompalar, KYKY tarafından modern yarı iletken üretimi, çip üretimi, endüstriyel kaplama ve bilimsel aletler alanlarındaki uygulama gereksinimlerini karşılamak için geliştirilen vakum üretim ekipmanıdır.

Manyetik yatak, sensör ve kontrol sisteminden oluşan elektromanyetik yatağa “aktif manyetik kaldırılmış ayılar” da denir. Bu tasarım, dinamik tepkiye ve zamanında ayarlamaya, yüksek hızlı şaftlamaya ve güvenilir çalışmaya sahiptir.

Avantajları:

1. Çalışma sırasında sıfır sürtünme ve düşük güç tüketimi

2. Pompalar için yağlama gerektirmeden gerçekten temiz, yüksek vakum ve ultra yüksek vakum elde etmek kolaydır

3. Aşındırıcı gazları uzun süre çıkarabilme

4. Rulmanların hassas seramik bilyelerle korunması sayesinde yüksek güvenlik ve uzun servis ömrü

5. Ani kapanma durumunda güç üretme işlevi

6. Sürtünmesiz

7. Kirlilik içermez

8. Bakım gerektirmez

9. Düşük titreşim

10. herhangi bir yönde monte edilir.

Teknolojiler:

• Manyetik Rulman için Kontrol Teknolojisi:5 eksenli manyetik olarak kaldırılmıştır. Bu tasarım, gelişmiş uluslararası kontrol teorisini temel alan dinamik aktif kapalı devre manyetik süspansiyon kontrol teknolojisi aracılığıyla dinamik tepkiye ve zamanında ayarlamaya sahip olabilir; böylece yüksek hızlı şaftlamanın stabil, havaya kaldırılmış ve güvenilir çalışma gibi önemli avantajlarını garanti eder.
• Motor Sürücü Kontrol Teknolojisi:Yüksek verimli, yüksek hızlı DC motor ve servo kontrol sistemi, seri manyetik olarak kaldırılan pompalara uygulanır, böylece motorun maksimum enerjisine sahip olur ve şaftın dönme hızını otomatik olarak telafi eder, böylece kararlı başlatma, güvenilir çalışma ve dinamik enerjinin otomatik düzenleme fonksiyonunu gerçekleştirir.
• Karbon fiber kompozit rotor teknolojisi:Seri manyetik süspansiyonlu moleküler pompaların turbo rotorları, yüksek mukavemetli alüminyum alaşımı ve hafif karbon fiberin birleştirilmesiyle yapılır. Tüm alüminyum alaşımlı rotorlarla karşılaştırıldığında, turbo rotorlar, büyük ölçüde ağırlık azalması ve mukavemette büyük bir iyileşme ile karakterize edilir, böylece yüksek dönme hızı, yüksek performans ve yüksek güvenilirlik hedeflerine ulaşılır.
• Korozyona dayanıklı teknoloji:Seri manyetik süspansiyonlu moleküler pompaların haznelerindeki parçaların yüzeyleri özel işlemden geçirilir, böylece yüzeyler yarı iletken imalat proseslerinde korozif gazların neden olduğu korozyona uzun süre dayanabilir. Ayrıca pompalardaki düşük vakumlu kısımları korumak için pompaların millerine N2 gibi inert gazlar tam olarak doldurulmakta, böylece korozif gazların uzun süre stabil olarak dışarı atılması işlevi gerçekleştirilmektedir.
• Isıtma sıcaklık kontrol sistemi:Seri manyetik kaldırmalı moleküler pompalar, soğutma suyu, hava-kemik ısıtması, elektrikli ısıtma ve koruyucu gazların taşıdığı ısının çalışma sırasında izlenebilmesi ve kontrol edilebilmesi, pompalardaki sıcaklığın uzun süre belirli bir değerde tutulabilmesi, bazı gaz halindeki maddelerin normal sıcaklıkta katı maddelere dönüştürülmemesi ve pompalarda birikmemesi ve aşındırma gibi özel işlem gereksinimlerinin karşılanabilmesi için elektrikli ısıtıcı ve sıcaklık kontrol cihazı ile donatılmıştır.

Özellikler:

Uygulamalar:

Seri manyetik olarak kaldırılan moleküler pompalar esas olarak yarı iletken imalatı, klips imalatı, endüstriyel kaplama ve bilimsel aletler alanlarına, özellikle de aşındırma, CVD, PVD ve iyon implantasyonunda bulunan aşındırıcı gazların ve normal sıcaklıkta kolayca pıhtılaşan gazların çıkarılması için uygulanır.