자기 부상 터보분자 진공 펌프 저진동 CXF-320/3000E

자기 부상 펌프 , CXF-320/3000E , 워터 냉각 , ISO-F , 외부 컨트롤러

자기부상 분자펌프는 자기력에 의해 샤프트가 지지되는 펌프이다.

시리즈 자기 부상 분자 펌프는 현대 반도체 제조, 칩 제조, 산업용 도금 및 과학 장비 분야의 응용 요구 사항을 충족하기 위해 KYKY에서 개발한 진공 생성 장비입니다.

전자기 베어링은 "활성 자기 부상 곰"이라고도 불리며 자기 베어링, 센서 및 제어 시스템으로 구성됩니다. 이 디자인은 동적 반응과 적시 조정, 고속 샤프트 및 안정적인 작동을 제공합니다.

장점:

1. 작동 중 마찰이 없고 전력 소모가 적습니다.

2. 펌프에 윤활유를 사용하지 않고도 매우 깨끗한 고진공 및 초고진공을 쉽게 얻을 수 있습니다.

3. 부식성 가스를 장기간 추출 가능

4. 정밀 세라믹 볼로 베어링을 보호하여 안전성이 높고 수명이 길다.

5. 갑작스런 전원 차단시 발전 기능

6. 마찰이 없음

7. 오염이 없음

8. 유지 보수가 필요하지 않습니다.

9. 낮은 진동

10. 어떤 방향으로도 설치 가능합니다.

기술:

• 자기 베어링 제어 기술:5축 자기 부상. 이 설계는 첨단 국제 제어 이론에 기초한 동적 능동형 폐쇄 회로 자기 현가 장치 제어 기술을 통해 동적 반응과 시기적절한 조정을 가능하게 하여 안정적인 부상 및 신뢰성 있는 작동과 같은 고속 샤프트의 상당한 이점을 보장합니다.
• 모터 드라이브 제어 기술:직렬 자기 부상형 펌프에는 고효율 고속 DC 모터 및 서보 제어 시스템을 적용하여 모터의 에너지를 최대화하고 축의 회전 속도를 자동으로 보상하여 안정적인 시동, 안정적인 작동 및 동적 에너지의 자동 조절 기능을 실현합니다.
• 탄소 섬유 복합 로터 기술:직렬 자기 서스펜션 분자 펌프의 터보 ​​로터는 고강도 알루미늄 합금과 경량 탄소 섬유를 혼합하여 만들어집니다. 모든 알루미늄 합금 로터와 비교하여 터보 로터는 무게가 크게 감소하고 강도가 크게 향상되어 높은 회전 속도, 고성능 및 높은 신뢰성이라는 목표를 달성하는 것이 특징입니다.
• 부식 방지 기술:직렬 자기 현탁 분자 펌프의 챔버 부품 표면은 특수 공정으로 처리되어 표면이 반도체 제조 공정에서 부식성 가스로 인한 부식에 장기간 견딜 수 있습니다. 또한, N2 등의 불활성 가스를 펌프 샤프팅에 가득 채워 펌프 내부의 저진공 부분을 보호함으로써 부식성 가스를 장기간 안정적으로 배출하는 기능을 구현합니다.
• 가열 온도 제어 시스템:직렬 자기 부상 분자 펌프에는 전기 히터와 온도 컨트롤러가 장착되어 냉각수, 공기 뼈 가열, 전기 가열 및 보호 가스에 의해 운반되는 열을 작동 중에 모니터링 및 제어할 수 있고, 펌프의 온도를 장기간 특정 값으로 유지할 수 있으며, 일부 기체 물질은 상온에서 고체 물질로 변환되지 않고 펌프에 침전되지 않으며, 에칭과 같은 특수 공정에 대한 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

명세서:

신청:

시리즈 자기 부상 분자 펌프는 주로 반도체 제조, 클립 제조, 산업용 도금 및 과학 기기 분야에 적용되며 특히 식각, CVD, PVD 및 이온 주입에 존재하는 부식성 가스 및 상온에서 쉽게 응고되는 가스의 추출에 적용됩니다.