Magnetisch levitierte Turbomolekulare Vakuumpumpe mit niedrigen Vibrationen CXF-320/3000E

Magnetschwebebahnpumpe, CXF-320/3000E, Wasserkühlung, ISO-F, externe Steuerung

Bei den magnetisch schwebenden Molekularpumpen handelt es sich um Pumpen, deren Welle durch magnetische Kraft unterstützt wird.

Magnetisch schwebende Molekularpumpen der Serie sind Geräte zur Vakuumerzeugung, die von KYKY entwickelt wurden, um Anwendungsanforderungen in den Bereichen moderne Halbleiterfertigung, Chipherstellung, industrielle Beschichtung und wissenschaftliche Instrumente zu erfüllen.

Das elektromagnetische Lager wird auch „aktiver Magnetschwebebär“ genannt und besteht aus einem Magnetlager, einem Sensor und einem Steuerungssystem. Dieses Design zeichnet sich durch dynamische Reaktion und rechtzeitige Anpassung, Hochgeschwindigkeitswelle und zuverlässigen Betrieb aus.

Die Vorteile:

1. Keine Reibung während des Betriebs und geringer Stromverbrauch

2. Einfach zu erreichendes wirklich sauberes Hochvakuum und Ultrahochvakuum ohne Schmierung für Pumpen

3. Kann korrosive Gase langfristig absaugen

4. Hohe Sicherheit und lange Lebensdauer durch Schutz der Lager mit Präzisionskeramikkugeln

5. Stromerzeugungsfunktion bei plötzlichem Ausschalten

6. Reibungsfrei

7. Frei von Verschmutzung

8. Wartungsfrei

9. Geringe Vibration

10. In beliebiger Ausrichtung installiert.

Technologien:

• Steuerungstechnik für Magnetlager:5-Achsen magnetisch schwebend. Diese Konstruktion ermöglicht eine dynamische Reaktion und eine zeitnahe Anpassung mithilfe einer dynamischen, aktiven Magnetaufhängungssteuerungstechnologie mit geschlossenem Kreislauf, die auf der fortschrittlichen internationalen Steuerungstheorie basiert, um so bedeutende Vorteile der Hochgeschwindigkeitswelle wie einen stabilen schwebenden und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten.
• Motorantriebssteuerungstechnik:Ein hocheffizienter Hochgeschwindigkeits-Gleichstrommotor und ein Servosteuerungssystem werden bei Reihenmagnetschwebepumpen eingesetzt, um die maximale Energie des Motors zu erreichen und die Drehzahl der Welle automatisch zu kompensieren, wodurch ein stabiler Start, ein zuverlässiger Betrieb und eine automatische Regulierungsfunktion der dynamischen Energie realisiert werden.
• Rotortechnologie aus Kohlefaserverbundwerkstoff:Die Turborotoren serieller Molekularpumpen mit magnetischer Suspension werden durch die Verbindung einer hochfesten Aluminiumlegierung und einer leichten Kohlefaser hergestellt. Im Vergleich zu allen Rotoren aus Aluminiumlegierung zeichnen sich die Turborotoren durch eine große Gewichtsreduzierung und eine große Verbesserung der Festigkeit aus, sodass Ziele wie hohe Drehzahl, hohe Leistung und hohe Zuverlässigkeit erreicht werden.
• Korrosionsbeständige Technologie:Oberflächen von Teilen in Kammern serieller Magnetsuspensions-Molekularpumpen werden mit einem speziellen Verfahren behandelt, so dass die Oberflächen der durch korrosive Gase in Halbleiterherstellungsprozessen verursachten Korrosion lange Zeit widerstehen können. Darüber hinaus sind Inertgase wie N2 vollständig in den Wellen der Pumpen eingefüllt, um die Niedervakuumteile in den Pumpen zu schützen, so dass die Funktion der stabilen Absaugung korrosiver Gase über lange Zeiträume hinweg gewährleistet ist.
• Heizungstemperaturregelsystem:Magnetisch schwebende Molekularpumpen der Serie sind mit einer elektrischen Heizung und einem Temperaturregler ausgestattet, so dass Kühlwasser, Luft-Knochen-Erwärmung, elektrische Heizung und die von Schutzgasen transportierte Wärme während des Betriebs überwacht und gesteuert werden können, die Temperatur in den Pumpen langfristig auf einem bestimmten Wert gehalten werden kann, einige gasförmige Substanzen bei normaler Temperatur nicht in feste Substanzen umgewandelt und nicht in den Pumpen abgeschieden werden und Anforderungen für spezielle Prozesse wie das Ätzen erfüllt werden können.

Spezifikationen:

Anwendungen:

Magnetisch schwebende Molekularpumpen der Serie werden hauptsächlich in den Bereichen Halbleiterherstellung, Clipherstellung, industrielle Beschichtung und wissenschaftliche Instrumente eingesetzt, insbesondere zur Extraktion von korrosiven Gasen, die beim Ätzen, CVD, PVD und Ionenimplantation auftreten, sowie von Gasen, die bei normaler Temperatur leicht koaguliert werden.