Μαγνητικά αιωρούμενη τουρβομοριακή αντλία κενού χαμηλής δόνησης CXF-320/3000E

Maglev Pump , CXF-320/3000E , Waterr cooling , ISO-F , Εξωτερικός ελεγκτής

Οι μαγνητικά ανυψωμένες μοριακές αντλίες είναι οι αντλίες των οποίων ο άξονας υποστηρίζεται χάρη στη μαγνητική δύναμη.

Οι σειρές μοριακών αντλιών με μαγνητική αιώρηση είναι εξοπλισμός παραγωγής κενού που αναπτύχθηκε από την KYKY για την ικανοποίηση των απαιτήσεων εφαρμογών σε τομείς της σύγχρονης κατασκευής ημιαγωγών, της κατασκευής τσιπ, της βιομηχανικής επιμετάλλωσης και των επιστημονικών οργάνων.

Το ηλεκτρομαγνητικό έδρανο ονομάζεται επίσης «ενεργές μαγνητικές αιωρούμενες αρκούδες», που αποτελείται από ένα μαγνητικό έδρανο, έναν αισθητήρα και ένα σύστημα ελέγχου. Αυτός ο σχεδιασμός έχει δυναμική απόκριση και έγκαιρη ρύθμιση, άξονες υψηλής ταχύτητας και αξιόπιστη λειτουργία.

Τα πλεονεκτήματα:

1. Μηδενική τριβή κατά τη λειτουργία και χαμηλή κατανάλωση ενέργειας

2. Εύκολο να αποκτήσετε πραγματικά καθαρό υψηλό κενό και εξαιρετικά υψηλό κενό χωρίς λίπανση για αντλίες

3. Δυνατότητα εξαγωγής διαβρωτικών αερίων για μεγάλο χρονικό διάστημα

4. Υψηλή ασφάλεια και μεγάλη διάρκεια ζωής λόγω προστασίας ρουλεμάν με κεραμικές σφαίρες ακριβείας

5. Λειτουργία παραγωγής ρεύματος σε περίπτωση ξαφνικής απενεργοποίησης

6. Χωρίς τριβές

7. Χωρίς ρύπανση

8. Χωρίς συντήρηση

9. Χαμηλή δόνηση

10. εγκατεστημένο σε οποιονδήποτε προσανατολισμό.

Τεχνολογίες:

• Τεχνολογία ελέγχου για μαγνητικά ρουλεμάν:5-άξονες ανυψώνεται μαγνητικά. Αυτός ο σχεδιασμός μπορεί να έχει δυναμική απόκριση και έγκαιρη ρύθμιση μέσω της τεχνολογίας δυναμικού ενεργού ελέγχου μαγνητικής ανάρτησης κλειστού κυκλώματος που βασίζεται στην προηγμένη διεθνή θεωρία ελέγχου, έτσι ώστε να εγγυάται τόσο σημαντικά πλεονεκτήματα του άξονα υψηλών ταχυτήτων, όπως σταθερή αιωρούμενη και αξιόπιστη λειτουργία.
• Τεχνολογία ελέγχου κίνησης κινητήρα:Ο υψηλής απόδοσης κινητήρας DC υψηλής ταχύτητας και το σύστημα ελέγχου σερβομηχανισμού εφαρμόζονται σε σειρές μαγνητικά ανυψωμένες αντλίες, ώστε να έχουν μέγιστη ενέργεια του κινητήρα και να αντισταθμίζουν αυτόματα την ταχύτητα περιστροφής του άξονα, επιτυγχάνοντας έτσι σταθερή εκκίνηση, αξιόπιστη λειτουργία και αυτόματη λειτουργία ρύθμισης της δυναμικής ενέργειας.
• Τεχνολογία σύνθετου ρότορα από ανθρακονήματα:Οι στροβιλορότορες των σειριακών μοριακών αντλιών με μαγνητική ανάρτηση κατασκευάζονται με σύνθεση κράματος αλουμινίου υψηλής αντοχής και ανθρακονημάτων ελαφρού βάρους. Σε σύγκριση με όλους τους ρότορες από κράμα αλουμινίου, οι ρότορες turbo χαρακτηρίζονται από μεγάλη μείωση βάρους και μεγάλη βελτίωση της αντοχής, έτσι ώστε να επιτυγχάνονται στόχοι υψηλής ταχύτητας περιστροφής, υψηλής απόδοσης και υψηλής αξιοπιστίας.
• Τεχνολογία αντοχής στη διάβρωση:Οι επιφάνειες εξαρτημάτων σε θαλάμους μοριακών αντλιών σειριακής μαγνητικής ανάρτησης επεξεργάζονται με ειδική διαδικασία, έτσι ώστε οι επιφάνειες να μπορούν να αντιστέκονται στη διάβρωση που προκαλείται από διαβρωτικά αέρια στις διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών για μεγάλο χρονικό διάστημα. Επιπλέον, τέτοια αδρανή αέρια όπως το Ν2 γεμίζονται πλήρως στον άξονα των αντλιών για την προστασία των τμημάτων χαμηλού κενού στις αντλίες, έτσι ώστε να επιτυγχάνεται η λειτουργία σταθερής εξαγωγής διαβρωτικών αερίων για μεγάλες περιόδους.
• Σύστημα ελέγχου θερμοκρασίας θέρμανσης:Οι σειρές μαγνητικά ανυψωμένες μοριακές αντλίες είναι εξοπλισμένες με ηλεκτρικό θερμαντήρα και ελεγκτή θερμοκρασίας, έτσι ώστε το νερό ψύξης, η θέρμανση αέρα-οστά, η ηλεκτρική θέρμανση και η θερμότητα που μεταφέρεται από προστατευτικά αέρια να μπορούν να παρακολουθούνται και να ελέγχονται κατά τη λειτουργία, η θερμοκρασία στις αντλίες μπορεί να διατηρείται σε κάποια τιμή για μακροχρόνια, ορισμένες αέριες ουσίες δεν μετατρέπονται σε στερεές ουσίες σε κανονική θερμοκρασία.

Προδιαγραφές:

Εφαρμογές:

Οι σειρές μαγνητικά ανυψωμένες μοριακές αντλίες εφαρμόζονται κυρίως σε πεδία κατασκευής ημιαγωγών, κατασκευή κλιπ, βιομηχανική επιμετάλλωση και επιστημονικά όργανα, ειδικά στην εξαγωγή διαβρωτικών αερίων που υπάρχουν στην εμφύτευση ιόντων, CVD, PVD και ιόντων και αερίων που πήζουν εύκολα σε κανονική θερμοκρασία.