चुंबकीय रूप से लेविटेटेड टर्बोमोलेकुलर वैक्यूम पंप कम कंपन CXF-320/3000E
मैग्लेव पंप, सीएक्सएफ-320/3000ई, वाटरर कूलिंग, आईएसओ-एफ, बाहरी नियंत्रक चुंबकीय रूप से उत्तोलनित आणविक पंप वे पंप होते हैं जिनकी शाफ्टिंग चुंबकीय बल के आधार पर समर्थित होती है। श्रृंखला चुंबकीय रूप से उत्तोलन आणविक पंप आधुनिक अर्धचालक विनिर्माण, चिप निर्माण, औद्योगिक चढ़ाना और वैज्ञानिक उपकरणों के क...
चुंबकीय रूप से लेविटेटेड टर्बोमोलेक्यूलर वैक्यूम पंप
,कम कंपन टर्बोमोलेक्यूलर वैक्यूम पंप
मैग्लेव पंप, सीएक्सएफ-320/3000ई, वाटरर कूलिंग, आईएसओ-एफ, बाहरी नियंत्रक
चुंबकीय रूप से उत्तोलनित आणविक पंप वे पंप होते हैं जिनकी शाफ्टिंग चुंबकीय बल के आधार पर समर्थित होती है।
श्रृंखला चुंबकीय रूप से उत्तोलन आणविक पंप आधुनिक अर्धचालक विनिर्माण, चिप निर्माण, औद्योगिक चढ़ाना और वैज्ञानिक उपकरणों के क्षेत्रों के लिए आवेदन आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए केवाईकेवाई द्वारा विकसित वैक्यूम पीढ़ी उपकरण हैं।
इलेक्ट्रोमैग्नेटिक बियरिंग को "एक्टिव मैग्नेटिक लेविटेटेड बियर्स" भी कहा जाता है, जिसमें एक मैग्नेटिक बियरिंग, एक सेंसर और एक नियंत्रण प्रणाली शामिल होती है। इस डिज़ाइन में गतिशील प्रतिक्रिया और समय पर समायोजन, उच्च गति शाफ्टिंग और विश्वसनीय संचालन है।
लाभ:
1. ऑपरेशन के दौरान शून्य घर्षण, और कम बिजली की खपत
2. पंपों के लिए स्नेहन के बिना वास्तव में साफ उच्च वैक्यूम और अल्ट्राहाई वैक्यूम प्राप्त करना आसान है
3. लंबे समय तक संक्षारक गैसों को निकालने में सक्षम
4. सटीक सिरेमिक गेंदों के साथ बीयरिंग की सुरक्षा के कारण उच्च सुरक्षा और लंबी सेवा जीवन
5. अचानक बिजली बंद होने की स्थिति में बिजली उत्पादन कार्य
6. घर्षण से मुक्त
7. प्रदूषण से मुक्त
8. रखरखाव से मुक्त
9. कम कंपन
10. किसी भी ओरिएंटेशन में स्थापित।
प्रौद्योगिकी:
- चुंबकीय बियरिंग के लिए नियंत्रण प्रौद्योगिकी:5-अक्ष चुंबकीय रूप से उत्तलित। इस डिज़ाइन में उन्नत अंतरराष्ट्रीय नियंत्रण सिद्धांत के आधार पर गतिशील सक्रिय क्लोज-सर्किट चुंबकीय निलंबन नियंत्रण प्रौद्योगिकी के माध्यम से गतिशील प्रतिक्रिया और समय पर समायोजन हो सकता है, ताकि स्थिर उत्तोलन और विश्वसनीय संचालन के रूप में उच्च गति शाफ्टिंग के ऐसे महत्वपूर्ण लाभों की गारंटी दी जा सके।
- मोटर ड्राइव नियंत्रण प्रौद्योगिकी:उच्च दक्षता वाली उच्च गति वाली डीसी मोटर और सर्वो नियंत्रण प्रणाली को श्रृंखलाबद्ध चुंबकीय रूप से उत्तोलन पंपों पर लागू किया जाता है, ताकि मोटर की अधिकतम ऊर्जा हो और स्वचालित रूप से शाफ्टिंग की घूर्णन गति की भरपाई हो सके, जिससे स्थिर स्टार्ट-अप, विश्वसनीय संचालन और गतिशील ऊर्जा के स्वचालित विनियमन कार्य का एहसास हो सके।
- कार्बन फाइबर कम्पोजिट रोटर प्रौद्योगिकी:सीरियल मैग्नेटिक सस्पेंशन आणविक पंपों के टर्बो रोटर्स उच्च शक्ति वाले एल्यूमीनियम मिश्र धातु और हल्के वजन वाले कार्बन फाइबर को मिलाकर बनाए जाते हैं। सभी एल्यूमीनियम मिश्र धातु रोटरों की तुलना में, टर्बो रोटर्स को वजन में काफी कमी और ताकत में काफी सुधार की विशेषता है, ताकि उच्च घूर्णन गति, उच्च प्रदर्शन और उच्च विश्वसनीयता के लक्ष्य प्राप्त किए जा सकें।
- संक्षारण प्रतिरोधी प्रौद्योगिकी:सीरियल चुंबकीय निलंबन आणविक पंपों के कक्षों में भागों की सतहों को विशेष प्रक्रिया से उपचारित किया जाता है, ताकि सतहें लंबे समय तक अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाओं में संक्षारक गैसों के कारण होने वाले क्षरण का विरोध कर सकें। इसके अलावा, पंपों में कम वैक्यूम भागों की सुरक्षा के लिए एन2 जैसी अक्रिय गैसों को पंपों की शाफ्टिंग में पूरी तरह से भर दिया जाता है, ताकि लंबी अवधि के लिए संक्षारक गैसों को स्थिर रूप से समाप्त करने का कार्य साकार हो सके।
- ताप तापमान नियंत्रण प्रणाली:श्रृंखला चुंबकीय रूप से उत्तोलन आणविक पंप एक इलेक्ट्रिक हीटर और एक तापमान नियंत्रक से सुसज्जित हैं, ताकि ठंडा पानी, वायु-हड्डी हीटिंग, इलेक्ट्रिक हीटिंग और सुरक्षात्मक गैसों द्वारा किए गए गर्मी की निगरानी और संचालन के दौरान नियंत्रित किया जा सके, पंपों में तापमान को लंबे समय तक कुछ मूल्य पर बनाए रखा जा सके, कुछ गैसीय पदार्थ सामान्य तापमान पर ठोस पदार्थों में परिवर्तित नहीं होते हैं और पंपों में जमा नहीं होते हैं, और नक़्क़ाशी जैसी विशेष प्रक्रिया की आवश्यकताओं को पूरा किया जा सकता है।
विशेष विवरण:
| निकला हुआ किनारा (में) | DN250 आईएसओ-एफ |
| निकला हुआ किनारा (बाहर) केएफ | DN50 |
| पम्पिंग गति (एल/एस) | एन2:3000 |
| एआर:2750 | |
| वह:2300 | |
| एच2:1100 | |
| संक्षिप्तीकरण अनुपात | एन2:108 |
| एआर:108 | |
| वह:104 | |
| एच2:103 | |
| अंतिम दबाव(पीए) | सीएफ:1×10-6 |
| आईएसओ-के/एफ:6×10-6 | |
| अधिकतम. सतत फोर-वैक्यूम दबाव (पीए) | 40 |
| अधिकतम. फोर-वैक्यूम दबाव | एन2:290 |
| संपूर्ण गैस (एससीसीएम) | एन2:5800 |
| एआर:2200 | |
| वह:4300 | |
| एच2:3100 | |
| घूर्णन गति (आरपीएम) | 21000 |
| रन-अप समय(मिनट) | ≤18 |
| शीतलन प्रकार, मानक | पानी |
| ठंडे पानी की खपत (एल/मिनट) | 1 |
| ठंडा पानी का तापमान(℃) | 20 |
| पावर कनेक्शन: वोल्टेज (वी एसी) | 220 |
| नियंत्रक मॉडल | सीएक्सएफ-3000 |
| वजन (किलो) | 70 |
अनुप्रयोग:
श्रृंखला चुंबकीय रूप से उत्तोलन आणविक पंप मुख्य रूप से अर्धचालक विनिर्माण, क्लिप निर्माण, औद्योगिक चढ़ाना और वैज्ञानिक उपकरणों के क्षेत्रों में लागू होते हैं, विशेष रूप से ईच, सीवीडी, पीवीडी और आयन प्रत्यारोपण में मौजूद संक्षारक गैसों के निष्कर्षण और सामान्य तापमान पर आसानी से जमा होने वाली गैसों के लिए।