磁気浮遊型ターボ分子真空ポンプ 低振動CXF-320/3000E

リニアモーターポンプ、CXF-320/3000E、水冷、ISO-F、外部コントローラ

磁気浮上分子ポンプは、磁力によって軸を支持するポンプです。

シリーズ磁気浮上分子ポンプは、現代の半導体製造、チップ製造、工業用メッキおよび科学機器の分野のアプリケーション要件を満たすためにKYKYが開発した真空発生装置です。

電磁軸受は「能動磁気浮上ベア」とも呼ばれ、磁気軸受、センサー、制御システムから構成されます。この設計は、ダイナミックな応答とタイムリーな調整、高速シャフト動作、および信頼性の高い動作を備えています。

利点:

1. 動作時のフリクションゼロ、低消費電力

2. ポンプ無給油で本当にクリーンな高真空・超高真空が簡単に得られます。

3. 長期間の腐食性ガスの抽出が可能

4. 精密セラミックボールによるベアリング保護により高い安全性と長寿命を実現

5. 突然の停電時の発電機能

6. 摩擦がない

7. 無公害

8. メンテナンスフリー

9.低振動

10. 任意の向きで取り付けられます。

テクノロジー:

• 磁気軸受の制御技術：5軸磁気浮上。この設計は、高度な国際制御理論に基づいた動的アクティブ閉回路磁気サスペンション制御技術によって動的応答とタイムリーな調整を実現し、安定した浮上と信頼性の高い動作などの高速軸の重要な利点を保証します。
• モーター駆動制御技術：直列磁気浮上ポンプには高効率の高速DCモーターとサーボ制御システムが適用されており、モーターのエネルギーを最大限に引き出し、軸の回転速度を自動的に補償することで、安定した起動、確実な動作、動的エネルギーの自動調整機能を実現します。
• カーボンファイバー複合ローター技術:直列磁気サスペンション分子ポンプのターボローターは、高強度アルミニウム合金と軽量カーボンファイバーを複合して作られています。ターボローターは全アルミ合金製ローターに比べ、大幅な軽量化と強度の大幅な向上を実現し、高回転化、高性能化、高信頼性の目標を達成します。
• 耐食技術:直列磁気サスペンション分子ポンプのチャンバー内の部品表面には特殊な処理が施されており、半導体製造工程における腐食性ガスによる腐食に長期間耐えることができます。また、ポンプ軸内にはN2などの不活性ガスを封入し、ポンプ内の低真空部を保護し、腐食性ガスを長期間安定して排気する機能を実現しています。
• 加熱温度制御システム：直列磁気浮上分子ポンプには、電気ヒーターと温度コントローラーが装備されており、運転中の冷却水、エアボーン加熱、電気加熱、保護ガスによる熱の監視と制御が可能で、ポンプ内の温度を長期間一定に維持でき、一部のガス状物質は常温では固体に変化せずポンプ内に堆積せず、エッチングなどの特殊なプロセスの要件にも対応できます。

仕様:

アプリケーション:

シリーズ磁気浮上分子ポンプは、主に半導体製造、クリップ製造、工業用メッキ、科学機器の分野に応用されており、特にエッチング、CVD、PVD、イオン注入中に存在する腐食性ガスや常温で凝集しやすいガスの抽出に使用されています。