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油脂潤滑ターボ分子ポンプ FF-100/110E 低-E ガラス産業用

水冷却ターボ分子ポンプ 300L/S N2ポンプ速度モジュール設計

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-5KVトリオドスプッターポンプステンレス鋼のイオン惰性ガスポンプ率を増加

+7KV イオン真空ポンプゼロ振動 65L/S 空気 0.6L/S Ar 排気速度

オイルより少ない -5KV イオン真空ポンプ 55L/S 空気 12L/S Ar 高真空度

真空ゲートバルブ

密度が高い真空ゲートバルブ簡単にインストール 1E+5 から 1E-7 Pa 適用

超薄型高真空バルブ 1E+5〜1E-7 Pa 適用 CE 承認

専門的な真空ゲートバルブ 1E+5 から 1E-7 Pa 適用

不同鋼高真空ゲートバルブ漏れ率 1.3×E-10 Pa▪M3/S

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