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터보 분자 펌프

기름 윤활기 터보 분자 진공 펌프 FF-250/2000E 간단한 구조

낮은 E 유리 산업을 위한 그리스 윤활 터보 분자 펌프 FF-100/110E

물 냉각 터보 분자 펌프 300L/S N2 펌프 속도 모듈 설계

산업용 터보 분자 펌프 모든 장착 위치 63L/S N2 펌프 속도

이온 진공 펌프

초고 진공 스프터 이온 펌프 오일 7×10-8 Pa 이하 최종 압력

-5KV 트라이오드 스푸터 펌프 이온 스테인리스 스틸 무활성 가스 펌프 비율을 증가

+7KV 이온 진공 펌프 진동 65L/S 공기 0.6L/S Ar 펌프 속도

오일 미만 -5KV 이온 진공 펌프 55L/S 공기 12L/S Ar 높은 진공

진공 게이트 밸브

좋은 견고 진공 게이트 밸브 쉬운 설치 1E+5 ~ 1E-7 Pa 적용

초 얇은 고 진공 밸브 1E+5 ~ 1E-7 Pa 애플리케이션 CE 승인

전문 진공 게이트 밸브 1E+5에서 1E-7 Pa

스테인레스 스틸 고 진공 게이트 밸브 누출률 1.3×E-10 Pa▪M3/S

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