Máy bơm chân không phân tử xoáy từ tính có rung động thấp CXF-320/3000E

Bơm Maglev , CXF-320/3000E , Waterr làm mát , ISO-F , Bộ điều khiển bên ngoài

Máy bơm phân tử được nâng lên bằng từ tính là máy bơm có trục được hỗ trợ nhờ lực từ.

Dòng máy bơm phân tử được nâng bằng từ trường là thiết bị tạo chân không được KYKY phát triển để đáp ứng yêu cầu ứng dụng cho các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn hiện đại, sản xuất chip, mạ công nghiệp và dụng cụ khoa học.

Ổ trục điện từ còn được gọi là “gấu bay từ tính chủ động”, bao gồm ổ trục từ tính, cảm biến và hệ thống điều khiển. Thiết kế này có phản ứng động và điều chỉnh kịp thời, trục tốc độ cao và hoạt động đáng tin cậy.

Những lợi thế:

1. Không ma sát trong quá trình vận hành và tiêu thụ điện năng thấp

2. Dễ dàng thu được chân không thực sự sạch và chân không siêu cao mà không cần bôi trơn cho máy bơm

3. Có khả năng hút khí ăn mòn lâu dài

4. Độ an toàn cao và tuổi thọ lâu dài nhờ bảo vệ vòng bi bằng bi gốm chính xác

5. Chức năng tạo điện trong trường hợp tắt nguồn đột ngột

6. Không có ma sát

7. Không ô nhiễm

8. Miễn phí bảo trì

9. Độ rung thấp

10. cài đặt theo bất kỳ hướng nào.

Công nghệ:

• Công nghệ điều khiển vòng bi từ:5 trục được nâng lên bằng từ tính. Thiết kế này có thể có phản ứng động và điều chỉnh kịp thời bằng công nghệ điều khiển hệ thống treo từ tính mạch kín chủ động dựa trên lý thuyết điều khiển quốc tế tiên tiến, để đảm bảo những ưu điểm đáng kể của trục tốc độ cao như hoạt động ổn định và đáng tin cậy.
• Công nghệ điều khiển truyền động động cơ:Hệ thống điều khiển servo và động cơ DC tốc độ cao hiệu suất cao được áp dụng cho các máy bơm được nâng bằng từ tính nối tiếp, nhờ đó có được năng lượng tối đa của động cơ và bù tốc độ quay của trục một cách tự động, từ đó thực hiện khởi động ổn định, vận hành đáng tin cậy và chức năng điều chỉnh tự động của năng lượng động.
• Công nghệ cánh quạt composite sợi carbon:Các cánh quạt turbo của máy bơm phân tử treo từ tính nối tiếp được chế tạo bằng cách kết hợp hợp kim nhôm có độ bền cao và sợi carbon trọng lượng nhẹ. So với tất cả các rôto hợp kim nhôm, rôto turbo có đặc điểm là giảm trọng lượng đáng kể và cải thiện sức mạnh đáng kể, nhờ đó đạt được các mục tiêu về tốc độ quay cao, hiệu suất cao và độ tin cậy cao.
• Công nghệ chống ăn mòn:Bề mặt các bộ phận trong buồng của bơm phân tử treo từ tính nối tiếp được xử lý bằng quy trình đặc biệt, nhờ đó bề mặt có thể chống lại sự ăn mòn do khí ăn mòn trong quá trình sản xuất chất bán dẫn trong thời gian dài gây ra. Ngoài ra, các khí trơ như N2 được nạp đầy trong trục của máy bơm để bảo vệ các bộ phận chân không thấp trong máy bơm, nhờ đó thực hiện được chức năng xả khí ăn mòn ổn định trong thời gian dài.
• Hệ thống kiểm soát nhiệt độ sưởi ấm:Dòng máy bơm phân tử được nâng bằng từ tính được trang bị bộ gia nhiệt bằng điện và bộ điều khiển nhiệt độ, do đó có thể theo dõi và kiểm soát và kiểm soát và theo dõi và kiểm soát nhiệt lượng do khí làm mát mang theo trong quá trình vận hành, nhiệt độ trong máy bơm ở một số giá trị trong thời gian dài, một số chất khí không được chuyển đổi thành chất rắn ở nhiệt độ bình thường và không lắng đọng trong máy bơm, đồng thời có thể đáp ứng các yêu cầu đối với quy trình đặc biệt như ăn mòn.

Thông số kỹ thuật:

Ứng dụng:

Dòng máy bơm phân tử bay lên từ tính chủ yếu được áp dụng cho các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, sản xuất kẹp, mạ công nghiệp và dụng cụ khoa học, đặc biệt là để chiết các khí ăn mòn tồn tại trong etch, CVD, PVD và cấy ion và các khí dễ đông tụ ở nhiệt độ bình thường.