مضخة فراغ تركيبية جزيئية مغناطيسية منخفضة الاهتزاز CXF-320/3000E

مضخة ماجليف، CXF-320/3000E، تبريد مائي، ISO-F، وحدة تحكم خارجية

المضخات الجزيئية المرفوعة مغناطيسيًا هي المضخات التي يتم دعم عمودها بحكم القوة المغناطيسية.

المضخات الجزيئية المرفوعة مغناطيسيًا عبارة عن معدات توليد فراغ تم تطويرها بواسطة KYKY لتلبية متطلبات التطبيق في مجالات تصنيع أشباه الموصلات الحديثة وتصنيع الرقائق والطلاء الصناعي والأدوات العلمية.

يُطلق على المحمل الكهرومغناطيسي أيضًا اسم "الدببة المرفوعة المغناطيسية النشطة"، ويتكون من محمل مغناطيسي وجهاز استشعار ونظام تحكم. يتميز هذا التصميم بالاستجابة الديناميكية والتعديل في الوقت المناسب، والعمود عالي السرعة والتشغيل الموثوق.

المزايا:

1. عدم الاحتكاك أثناء التشغيل، وانخفاض استهلاك الطاقة

2. من السهل الحصول على فراغ عالي ونظيف للغاية بدون تزييت للمضخات

3. قادر على استخلاص الغازات المسببة للتآكل لمدة طويلة

4. أمان عالي وعمر خدمة طويل بسبب حماية المحامل بكرات سيراميكية دقيقة

5. وظيفة توليد الطاقة في حالة انقطاع التيار الكهربائي المفاجئ

6. خالي من الاحتكاك

7. خالية من التلوث

8. خالية من الصيانة

9. اهتزاز منخفض

10. مثبتة في أي اتجاه.

التقنيات:

• تكنولوجيا التحكم للمحمل المغناطيسي:5 محاور مرفوعة مغناطيسيًا. يمكن أن يتمتع هذا التصميم باستجابة ديناميكية وتعديل في الوقت المناسب عن طريق تكنولوجيا التحكم في التعليق المغناطيسي للدائرة المغلقة النشطة الديناميكية استنادًا إلى نظرية التحكم الدولية المتقدمة، وذلك لضمان مثل هذه المزايا المهمة للعمود عالي السرعة مثل التشغيل المستقر والموثوق.
• تقنية التحكم في محرك المحرك:يتم تطبيق نظام التحكم المؤازر ومحرك DC ذو الكفاءة العالية والسرعة العالية على سلسلة المضخات المرفوعة مغناطيسيًا، وذلك للحصول على أقصى طاقة للمحرك وتعويض سرعة دوران العمود تلقائيًا، وبالتالي تحقيق بدء تشغيل مستقر، تشغيل موثوق به ووظيفة التنظيم التلقائي للطاقة الديناميكية.
• تكنولوجيا الدوار المركب من ألياف الكربون:يتم تصنيع الدوارات التوربينية للمضخات الجزيئية ذات التعليق المغناطيسي التسلسلي من خلال تركيب سبائك الألومنيوم عالية القوة وألياف الكربون خفيفة الوزن. بالمقارنة مع جميع الدوارات المصنوعة من سبائك الألومنيوم، تتميز الدوارات التوربينية بالتخفيض الكبير في الوزن وتحسين كبير في القوة، بحيث يتم تحقيق أهداف سرعة الدوران العالية والأداء العالي والموثوقية العالية.
• تكنولوجيا مقاومة التآكل:تتم معالجة أسطح الأجزاء الموجودة في غرف المضخات الجزيئية ذات التعليق المغناطيسي التسلسلي بعملية خاصة، بحيث يمكن للأسطح مقاومة التآكل الناجم عن الغازات المسببة للتآكل في عمليات تصنيع أشباه الموصلات لفترة طويلة. بالإضافة إلى ذلك، يتم ملء الغازات الخاملة مثل N2 بالكامل في أعمدة المضخات لحماية الأجزاء ذات الفراغ المنخفض في المضخات، بحيث يتم تحقيق وظيفة استنفاد الغازات المسببة للتآكل بشكل ثابت لفترات طويلة.
• نظام التحكم في درجة حرارة التدفئة:تم تجهيز سلسلة المضخات الجزيئية المرفوعة مغناطيسيًا بسخان كهربائي وجهاز تحكم في درجة الحرارة، بحيث يمكن مراقبة مياه التبريد وتسخين عظام الهواء والتدفئة الكهربائية والحرارة التي تحملها الغازات الواقية والتحكم فيها أثناء التشغيل، ويمكن الحفاظ على درجة الحرارة في المضخات عند قيمة معينة على المدى الطويل، ولا يتم تحويل بعض المواد الغازية إلى مواد صلبة في درجة الحرارة العادية ولا تترسب في المضخات، ويمكن تلبية متطلبات العمليات الخاصة مثل النقش.

تحديد:

التطبيقات:

يتم تطبيق المضخات الجزيئية المرفوعة مغناطيسيًا بشكل أساسي في مجالات تصنيع أشباه الموصلات، وتصنيع المشبك، والطلاء الصناعي والأدوات العلمية، وخاصة لاستخراج الغازات المسببة للتآكل الموجودة في الحفر، والأمراض القلبية الوعائية، وPVD، وزرع الأيونات والغازات المتخثرة بسهولة في درجة الحرارة العادية.