مضخة الفراغ الجزيئي للتزييت ماجليف لتصنيع الرقائق
مضخة ماجليف , CXF-200/1401 , تبريد مائي , على متن الطائرة يتم تطبيق المضخات الجزيئية المرفوعة مغناطيسيًا بشكل أساسي في مجالات تصنيع أشباه الموصلات، وتصنيع المشابك، والطلاء الصناعي والأدوات العلمية، وخاصة لاستخراج الغازات المسببة للتآكل الموجودة في الحفر، وCVD، وPVD، وزرع الأيونات والغازات المتخثرة ب...
مضخة الفراغ الجزيئي لصناعة الرقائق
,مضخة الفراغ الجزيئي
مضخة ماجليف , CXF-200/1401 , تبريد مائي , على متن الطائرة
يتم تطبيق المضخات الجزيئية المرفوعة مغناطيسيًا بشكل أساسي في مجالات تصنيع أشباه الموصلات، وتصنيع المشابك، والطلاء الصناعي والأدوات العلمية، وخاصة لاستخراج الغازات المسببة للتآكل الموجودة في الحفر، وCVD، وPVD، وزرع الأيونات والغازات المتخثرة بسهولة في درجة الحرارة العادية.
المزايا:
1. عدم الاحتكاك أثناء التشغيل، وانخفاض استهلاك الطاقة
2. من السهل الحصول على فراغ عالي ونظيف للغاية بدون تزييت للمضخات
3. قادر على استخلاص الغازات المسببة للتآكل لمدة طويلة
4. أمان عالي وعمر خدمة طويل بسبب حماية المحامل بكرات سيراميكية دقيقة
5. وظيفة توليد الطاقة في حالة انقطاع التيار الكهربائي المفاجئ
تحديد:
| نموذج | CXF-200/1401 |
| سرعة المضخة (لتر/ثانية، هواء) | 1400 |
| نسبة الضغط | > 1 × 107 |
| الفراغ النهائي (باسكال) | ≥2×10-6 |
| شفة مدخل | DN200 ISO K (LF) |
| دي ان 200 ايزو ف | |
| DN200 ISO CF | |
| شفة المخرج | كف 40 |
| سرعة الدوران (دورة في الدقيقة) | 33000 |
| وقت التشغيل (دقيقة) | 6 |
| فيب (مم) | <0.05 |
| مضخة الدعم (L/s) | 15 |
| التركيب أو الاتجاه | أي |
| طريقة التبريد | ماء |
| الوزن (كجم) (مع وحدة التحكم) | 51 |
