Pompa per vuoto molecolare con lubrificazione Maglev per la produzione di chip
Pompa Maglev, CXF-200/1401, Raffreddamento ad acqua, A bordo Le pompe molecolari a levitazione magnetica della serie sono applicate principalmente ai campi della produzione di semiconduttori, produzione di clip, placcatura industriale e strumenti scientifici, in particolare all'estrazione di gas ...
pompe a vuoto molecolare per la fabbricazione di chip
,Pompa a vuoto molecolare Maglev
Pompa Maglev, CXF-200/1401, Raffreddamento ad acqua, A bordo
Le pompe molecolari a levitazione magnetica della serie sono applicate principalmente ai campi della produzione di semiconduttori, produzione di clip, placcatura industriale e strumenti scientifici, in particolare all'estrazione di gas corrosivi esistenti nell'attacco, CVD, PVD e impianto ionico e gas facilmente coagulabili a temperatura normale.
I vantaggi:
1. Zero attrito durante il funzionamento e basso consumo energetico
2. Facile da ottenere un vuoto elevato e un vuoto ultraelevato davvero puliti senza lubrificazione per le pompe
3. Capace di estrarre gas corrosivi a lungo termine
4. Elevata sicurezza e lunga durata grazie alla protezione dei cuscinetti con sfere in ceramica di precisione
5. funzione di generazione di energia in caso di spegnimento improvviso
Specifiche:
| Modello | CXF-200/1401 |
| Velocità della pompa (l/s, aria) | 1400 |
| Rapporto di compressione | >1×107 |
| Vuoto finale (Pa) | ≤2×10-6 |
| Flangia di ingresso | DN200ISOK(LF) |
| DN200ISO F | |
| DN200ISO CF | |
| Flangia di uscita | KF40 |
| Velocità di rotazione (rpm) | 33000 |
| Tempo di avviamento (min) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Pompa di prevuoto (L/s) | 15 |
| Montaggio o installazione | Qualunque |
| Metodo di raffreddamento | Acqua |
| Peso (kg) (con controller) | 51 |
