Molekularna pompa próżniowa ze smarowaniem Maglev do produkcji chipów
Pompa Maglev, CXF-200/1401, Chłodzenie wodne, Na pokładzie Seria pomp molekularnych lewitowanych magnetycznie jest stosowana głównie w dziedzinach produkcji półprzewodników, produkcji zacisków, powlekania przemysłowego i instrumentów naukowych, zwłaszcza do ekstrakcji gazów korozyjnych występujących ...
Wytwarzanie chipów
,pompa molekularna próżniowa
Pompa Maglev, CXF-200/1401, Chłodzenie wodne, Na pokładzie
Seria pomp molekularnych lewitowanych magnetycznie jest stosowana głównie w dziedzinach produkcji półprzewodników, produkcji zacisków, powlekania przemysłowego i instrumentów naukowych, zwłaszcza do ekstrakcji gazów korozyjnych występujących podczas trawienia, CVD, PVD i implantacji jonów oraz gazów łatwo koagulujących w normalnej temperaturze.
Zalety:
1. Zero tarcia podczas pracy i niskie zużycie energii
2. Łatwe uzyskanie naprawdę czystej wysokiej i bardzo wysokiej próżni bez smarowania pomp
3. Możliwość długotrwałego usuwania gazów korozyjnych
4. Wysokie bezpieczeństwo i długa żywotność dzięki ochronie łożysk precyzyjnymi kulkami ceramicznymi
5. funkcja wytwarzania energii w przypadku nagłego wyłączenia zasilania
Dane techniczne:
| Model | CXF-200/1401 |
| Prędkość pompy (l/s, powietrze) | 1400 |
| Współczynnik kompresji | >1×107 |
| Ostateczna próżnia (Pa) | ≤2×10-6 |
| Kołnierz wlotowy | DN200 ISO K(LF) |
| DN200 ISO F | |
| DN200 ISO CF | |
| Kołnierz wylotowy | KF 40 |
| Prędkość obrotowa (rpm) | 33000 |
| Czas rozruchu (min) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Pompa wspomagająca (L/s) | 15 |
| Montaż lub itacja | Każdy |
| Metoda chłodzenia | Woda |
| Waga (kg) (z kontrolerem) | 51 |
