Молекулярный вакуумный насос смазки Maglev для производства чипов
Насос Maglev , CXF-200/1401 , Водяное охлаждение , Бортовой Серия молекулярных насосов с магнитной подвеской в основном применяется в производстве полупроводников, производстве зажимов, промышленном гальваническом покрытии и научных инструментах, особенно для извлечения агрессивных газов, существу...
Молекулярный вакуумный насос для производства микросхем
,Маглевный молекулярный вакуумный насос
Насос Maglev , CXF-200/1401 , Водяное охлаждение , Бортовой
Серия молекулярных насосов с магнитной подвеской в основном применяется в производстве полупроводников, производстве зажимов, промышленном гальваническом покрытии и научных инструментах, особенно для извлечения агрессивных газов, существующих при травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, а также газов, легко коагулируемых при нормальной температуре.
Преимущества:
1. Нулевое трение во время работы и низкое энергопотребление.
2. Легко получить действительно чистый высокий и сверхвысокий вакуум без смазки для насосов.
3. Способен извлекать агрессивные газы в течение длительного времени.
4. Высокая безопасность и длительный срок службы благодаря защите подшипников прецизионными керамическими шариками.
5. Функция генерации энергии в случае внезапного отключения питания
Технические характеристики:
| Модель | CXF-200/1401 |
| Скорость насоса (л/с, воздух) | 1400 |
| Степень сжатия | >1×107 |
| Предельный вакуум (Па) | ≤2×10-6 |
| Входной фланец | ДУ200 ИСО К(ЛФ) |
| Ду200 ИСО Ф | |
| ДУ200 ИСО CF | |
| Выходной фланец | КФ 40 |
| Скорость вращения (об/мин) | 33000 |
| Время запуска (мин) | 6 |
| ВИБ (мм) | <0,05 |
| Форвакуумный насос (л/с) | 15 |
| Монтаж или ориентация | Любой |
| Метод охлаждения | Вода |
| Вес (кг) (с контроллером) | 51 |
