Молекулярный вакуумный насос смазки Maglev для производства чипов

Насос Maglev , CXF-200/1401 , Водяное охлаждение , Бортовой

Серия молекулярных насосов с магнитной подвеской в ​​основном применяется в производстве полупроводников, производстве зажимов, промышленном гальваническом покрытии и научных инструментах, особенно для извлечения агрессивных газов, существующих при травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, а также газов, легко коагулируемых при нормальной температуре.

Преимущества:

1. Нулевое трение во время работы и низкое энергопотребление.

2. Легко получить действительно чистый высокий и сверхвысокий вакуум без смазки для насосов.

3. Способен извлекать агрессивные газы в течение длительного времени.

4. Высокая безопасность и длительный срок службы благодаря защите подшипников прецизионными керамическими шариками.

5. Функция генерации энергии в случае внезапного отключения питания

Технические характеристики: