Bomba de vacío molecular de lubricación Maglev para fabricación de chips
Bomba Maglev, CXF-200/1401, Refrigeración por agua, A bordo Las bombas moleculares de levitación magnética de la serie se aplican principalmente a los campos de fabricación de semiconductores, fabricación de clips, revestimiento industrial e instrumentos científicos, especialmente para la extracción ...
bombas de vacío molecular para la fabricación de chips
,Bomba de vacío molecular de Maglev
Bomba Maglev, CXF-200/1401, Refrigeración por agua, A bordo
Las bombas moleculares de levitación magnética de la serie se aplican principalmente a los campos de fabricación de semiconductores, fabricación de clips, revestimiento industrial e instrumentos científicos, especialmente para la extracción de gases corrosivos existentes en grabado, cvd, pvd e implantación de iones y gases que se coagulan fácilmente a temperatura normal.
Las ventajas:
1. Cero fricción durante el funcionamiento y bajo consumo de energía.
2. Fácil de adquirir alto vacío y ultraalto vacío realmente limpio sin lubricación para bombas
3. Capaz de extraer gases corrosivos a largo plazo.
4. Alta seguridad y larga vida útil gracias a la protección de los rodamientos con bolas cerámicas de precisión.
5. Función de generación de energía en caso de apagado repentino
Presupuesto:
| Modelo | CXF-200/1401 |
| Velocidad de la bomba (l/s, aire) | 1400 |
| Relación de compresión | >1×107 |
| Vacío máximo (Pa) | ≤2×10-6 |
| Brida de entrada | DN200 ISO K(LF) |
| DN200 ISOF | |
| DN200 ISO CF | |
| Brida de salida | KF 40 |
| Velocidad de rotación (rpm) | 33000 |
| Tiempo de ejecución (min) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Bomba de respaldo (L/s) | 15 |
| Montaje o orientacion | Cualquier |
| Método de enfriamiento | Agua |
| Peso (kg) (con controlador) | 51 |
