Çip Üretimi İçin Maglev Yağlama Moleküler Vakum Pompası
Maglev Pompası , CXF-200/1401 , Su soğutma , Yerleşik serisi manyetik olarak kaldırılan moleküler pompalar esas olarak yarı iletken imalat, klips imalatı, endüstriyel kaplama ve bilimsel aletler alanlarına, özellikle de aşındırma, cvd, pvd ve iyon implantasyonunda bulunan aşındırıcı gazların ve ...
Çip Üretimi Moleküler Vakum Pompası
,Maglev Moleküler Vakum Pompası
Maglev Pompası , CXF-200/1401 , Su soğutma , Yerleşik
serisi manyetik olarak kaldırılan moleküler pompalar esas olarak yarı iletken imalat, klips imalatı, endüstriyel kaplama ve bilimsel aletler alanlarına, özellikle de aşındırma, cvd, pvd ve iyon implantasyonunda bulunan aşındırıcı gazların ve normal sıcaklıkta kolayca pıhtılaşan gazların çıkarılması için uygulanır.
Avantajları:
1. Çalışma sırasında sıfır sürtünme ve düşük güç tüketimi
2. Pompalar için yağlama gerektirmeden gerçekten temiz, yüksek vakum ve ultra yüksek vakum elde etmek kolaydır
3. Aşındırıcı gazları uzun süre çıkarabilme
4. Rulmanların hassas seramik bilyelerle korunması sayesinde yüksek güvenlik ve uzun servis ömrü
5. Ani kapanma durumunda güç üretme işlevi
Özellikler:
| Modeli | CXF-200/1401 |
| Pompa Hızı(l/s,Hava) | 1400 |
| Sıkıştırma Oranı | >1×107 |
| Nihai Vakum(Pa) | ≤2×10-6 |
| Giriş Flanşı | DN200 ISOK(LF) |
| DN200 ISOF | |
| DN200 ISO CF | |
| Çıkış Flanşı | KF40 |
| Dönme Hızı (rpm) | 33000 |
| Çalıştırma Süresi (dak) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Destek Pompası (L/s) | 15 |
| Montaj veya yönlendirme | Herhangi |
| Soğutma yöntemi | su |
| Ağırlık(kg)(Kontrol Cihazıyla) | 51 |
