Çip Üretimi İçin Maglev Yağlama Moleküler Vakum Pompası

Maglev Pompası , CXF-200/1401 , Su soğutma , Yerleşik

serisi manyetik olarak kaldırılan moleküler pompalar esas olarak yarı iletken imalat, klips imalatı, endüstriyel kaplama ve bilimsel aletler alanlarına, özellikle de aşındırma, cvd, pvd ve iyon implantasyonunda bulunan aşındırıcı gazların ve normal sıcaklıkta kolayca pıhtılaşan gazların çıkarılması için uygulanır.

Avantajları:

1. Çalışma sırasında sıfır sürtünme ve düşük güç tüketimi

2. Pompalar için yağlama gerektirmeden gerçekten temiz, yüksek vakum ve ultra yüksek vakum elde etmek kolaydır

3. Aşındırıcı gazları uzun süre çıkarabilme

4. Rulmanların hassas seramik bilyelerle korunması sayesinde yüksek güvenlik ve uzun servis ömrü

5. Ani kapanma durumunda güç üretme işlevi

Özellikler: