Bơm chân không phân tử bôi trơn Maglev cho sản xuất chip
Bơm Maglev, CXF-200/1401, Làm mát bằng nước, Trên tàu Dòng máy bơm phân tử tăng từ tính chủ yếu được áp dụng cho các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, sản xuất kẹp, mạ công nghiệp và dụng cụ khoa học, đặc biệt là để chiết các khí ăn mòn tồn tại trong cấy etch, cvd, pvd và ion và các khí dễ đông tụ ở ...
Sản Xuất Chip Bơm Chân Không Phân Tử
,Bơm Chân Không Phân Tử Maglev
Bơm Maglev, CXF-200/1401, Làm mát bằng nước, Trên tàu
Dòng máy bơm phân tử tăng từ tính chủ yếu được áp dụng cho các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, sản xuất kẹp, mạ công nghiệp và dụng cụ khoa học, đặc biệt là để chiết các khí ăn mòn tồn tại trong cấy etch, cvd, pvd và ion và các khí dễ đông tụ ở nhiệt độ bình thường.
Những lợi thế:
1. Không ma sát trong quá trình vận hành và tiêu thụ điện năng thấp
2. Dễ dàng thu được chân không thực sự sạch và chân không siêu cao mà không cần bôi trơn cho máy bơm
3. Có khả năng hút khí ăn mòn lâu dài
4. Độ an toàn cao và tuổi thọ lâu dài nhờ bảo vệ vòng bi bằng bi gốm chính xác
5. Chức năng tạo điện trong trường hợp tắt nguồn đột ngột
Thông số kỹ thuật:
| Người mẫu | CXF-200/1401 |
| Tốc độ bơm (l/s,Không khí) | 1400 |
| Tỷ lệ nén | >1×107 |
| Chân không cuối cùng (Pa) | 2×10-6 |
| Mặt bích đầu vào | DN200 ISO K(LF) |
| DN200 ISO F | |
| DN200 ISO CF | |
| Mặt bích đầu ra | KF 40 |
| Tốc độ quay (vòng/phút) | 33000 |
| Thời gian chạy (phút) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Bơm lùi (L/s) | 15 |
| Gắn hoặc định vị | Bất kì |
| Phương pháp làm mát | Nước |
| Trọng lượng (kg) (Có bộ điều khiển) | 51 |
