Maglev Lubrication Molecular Pump Vacuum for Chip Manufacturing
Αντλία Maglev , CXF-200/1401 , Υδροψύξη , Εν πλω Οι σειρές μαγνητικά ανυψωμένες μοριακές αντλίες εφαρμόζονται κυρίως σε πεδία κατασκευής ημιαγωγών, κατασκευή κλιπ, βιομηχανική επιμετάλλωση και επιστημονικά όργανα, ειδικά στην εξαγωγή διαβρωτικών αερίων που υπάρχουν στην εμφύτευση ιόντων, cvd, pvd κα...
Τσιπ κατασκευή μοριακής αντλίας κενού
,Μαγνητοκύκλωμα Μοριακή αντλία κενού
Αντλία Maglev , CXF-200/1401 , Υδροψύξη , Εν πλω
Οι σειρές μαγνητικά ανυψωμένες μοριακές αντλίες εφαρμόζονται κυρίως σε πεδία κατασκευής ημιαγωγών, κατασκευή κλιπ, βιομηχανική επιμετάλλωση και επιστημονικά όργανα, ειδικά στην εξαγωγή διαβρωτικών αερίων που υπάρχουν στην εμφύτευση ιόντων, cvd, pvd και ιόντων και αερίων που πήζουν εύκολα σε κανονική θερμοκρασία.
Τα πλεονεκτήματα:
1. Μηδενική τριβή κατά τη λειτουργία και χαμηλή κατανάλωση ενέργειας
2. Εύκολο να αποκτήσετε πραγματικά καθαρό υψηλό κενό και εξαιρετικά υψηλό κενό χωρίς λίπανση για αντλίες
3. Δυνατότητα εξαγωγής διαβρωτικών αερίων για μεγάλο χρονικό διάστημα
4. Υψηλή ασφάλεια και μεγάλη διάρκεια ζωής λόγω προστασίας ρουλεμάν με κεραμικές σφαίρες ακριβείας
5. Λειτουργία παραγωγής ρεύματος σε περίπτωση ξαφνικής απενεργοποίησης
Προδιαγραφές:
| Μοντέλο | CXF-200/1401 |
| Ταχύτητα αντλίας (l/s, αέρας) | 1400 |
| Αναλογία Συμπίεσης | >1×107 |
| Ultimate Vacuum (Pa) | ≤2×10-6 |
| Φλάντζα εισόδου | DN200 ISO K(LF) |
| DN200 ISO F | |
| DN200 ISO CF | |
| Φλάντζα εξόδου | KF 40 |
| Ταχύτητα περιστροφής (rpm) | 33000 |
| Χρόνος εκτέλεσης (λεπτά) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Αντλία υποστήριξης (L/s) | 15 |
| Τοποθέτηση ή προσανατολισμός | Κάθε |
| Μέθοδος ψύξης | Νερό |
| Βάρος (kg) (Με χειριστήριο) | 51 |
