Pompa Vakum Molekul Pelumasan Maglev Untuk Pembuatan Chip
Pompa Maglev, CXF-200/1401, Pendingin air, Di atas kapal seri pompa molekuler yang melayang secara magnetis terutama diterapkan pada bidang manufaktur semikonduktor, manufaktur klip, pelapisan industri dan instrumen ilmiah, terutama untuk ekstraksi gas korosif yang ada dalam implantasi etsa, cvd, ...
Pump vakum molekuler pembuatan chip
,Pompa vakum molekul Maglev
Pompa Maglev, CXF-200/1401, Pendingin air, Di atas kapal
seri pompa molekuler yang melayang secara magnetis terutama diterapkan pada bidang manufaktur semikonduktor, manufaktur klip, pelapisan industri dan instrumen ilmiah, terutama untuk ekstraksi gas korosif yang ada dalam implantasi etsa, cvd, pvd dan ion serta gas yang mudah terkoagulasi pada suhu normal.
Keuntungannya:
1. Nol gesekan selama pengoperasian, dan konsumsi daya rendah
2. Mudah untuk mendapatkan vakum tinggi dan vakum ultrahigh yang benar-benar bersih tanpa pelumasan untuk pompa
3. Mampu mengekstraksi gas korosif untuk jangka panjang
4. Keamanan tinggi dan masa pakai yang lama karena perlindungan bantalan dengan bola keramik presisi
5. fungsi pembangkit listrik jika terjadi pemadaman listrik secara tiba-tiba
Spesifikasi:
| Model | CXF-200/1401 |
| Kecepatan Pompa (l/dtk, Udara) | 1400 |
| Rasio Kompresi | >1×107 |
| Vakum Utama (Pa) | ≤2×10-6 |
| Flensa Saluran Masuk | DN200 ISO K(LF) |
| DN200 ISO F | |
| DN200 ISO CF | |
| Flensa Saluran Keluar | KF40 |
| Kecepatan Rotasi (rpm) | 33000 |
| Waktu Pengoperasian (menit) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Pompa Pendukung (L/dtk) | 15 |
| Pemasangan atau orientasi | Setiap |
| Metode pendinginan | Air |
| Berat (kg) (Dengan Pengontrol) | 51 |
