Bomba de vácuo molecular de lubrificação Maglev para fabricação de chips
Bomba Maglev, CXF-200/1401, resfriamento a água, a bordo As bombas moleculares levitadas magneticamente em série são aplicadas principalmente em campos de fabricação de semicondutores, fabricação de clipes, revestimento industrial e instrumentos científicos, especialmente para extração de gases ...
Fabricação de chips
,bomba de vácuo molecular
Bomba Maglev, CXF-200/1401, resfriamento a água, a bordo
As bombas moleculares levitadas magneticamente em série são aplicadas principalmente em campos de fabricação de semicondutores, fabricação de clipes, revestimento industrial e instrumentos científicos, especialmente para extração de gases corrosivos existentes em etch, cvd, pvd e implantação de íons e gases facilmente coagulados em temperatura normal.
As vantagens:
1. Fricção zero durante a operação e baixo consumo de energia
2. Fácil de adquirir alto vácuo realmente limpo e vácuo ultra-alto sem lubrificação para bombas
3. Capaz de extrair gases corrosivos por longo prazo
4. Alta segurança e longa vida útil devido à proteção dos rolamentos com esferas cerâmicas de precisão
5. Função de geração de energia em caso de desligamento repentino
Especificações:
| Modelo | CXF-200/1401 |
| Velocidade da bomba (l/s, ar) | 1400 |
| Taxa de compressão | >1×107 |
| Vácuo Final (Pa) | ≤2×10-6 |
| Flange de entrada | DN200 ISOK(LF) |
| DN200ISOF | |
| DN200 ISOCF | |
| Flange de Saída | KF 40 |
| Velocidade de rotação (rpm) | 33.000 |
| Tempo de aceleração (min) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Bomba de apoio (L/s) | 15 |
| Montagem ou orientação | Qualquer |
| Método de resfriamento | Água |
| Peso (kg) (com controlador) | 51 |
