Bomba de vácuo molecular de lubrificação Maglev para fabricação de chips

Bomba Maglev, CXF-200/1401, resfriamento a água, a bordo

As bombas moleculares levitadas magneticamente em série são aplicadas principalmente em campos de fabricação de semicondutores, fabricação de clipes, revestimento industrial e instrumentos científicos, especialmente para extração de gases corrosivos existentes em etch, cvd, pvd e implantação de íons e gases facilmente coagulados em temperatura normal.

As vantagens:

1. Fricção zero durante a operação e baixo consumo de energia

2. Fácil de adquirir alto vácuo realmente limpo e vácuo ultra-alto sem lubrificação para bombas

3. Capaz de extrair gases corrosivos por longo prazo

4. Alta segurança e longa vida útil devido à proteção dos rolamentos com esferas cerâmicas de precisão

5. Função de geração de energia em caso de desligamento repentino

Especificações: