ปั๊มสุญญากาศโมเลกุลหล่อลื่น Maglev สำหรับการผลิตชิป
ปั๊มแม็กเลฟ , CXF-200/1401 , ระบายความร้อนด้วยน้ำ , ออนบอร์ด ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กซีรีส์ส่วนใหญ่นำไปใช้กับสาขาการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การผลิตคลิป การชุบทางอุตสาหกรรม และเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่มีอยู่ในการฝังกัดกรด, CVD, PVD และไอออน และก๊าซที่จ...
ปั๊มสุญญากาศโมเลกุลการผลิตชิป
,ปั๊มสุญญากาศโมเลกุล Maglev
ปั๊มแม็กเลฟ , CXF-200/1401 , ระบายความร้อนด้วยน้ำ , ออนบอร์ด
ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กซีรีส์ส่วนใหญ่นำไปใช้กับสาขาการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การผลิตคลิป การชุบทางอุตสาหกรรม และเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่มีอยู่ในการฝังกัดกรด, CVD, PVD และไอออน และก๊าซที่จับตัวเป็นก้อนได้ง่ายที่อุณหภูมิปกติ
ข้อดี:
1. ไม่มีแรงเสียดทานระหว่างการทำงานและใช้พลังงานต่ำ
2. ง่ายต่อการรับสุญญากาศสูงและสุญญากาศสูงพิเศษที่สะอาดจริง ๆ โดยไม่ต้องหล่อลื่นปั๊ม
3. สามารถสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้ในระยะยาว
4. ความปลอดภัยสูงและอายุการใช้งานยาวนานเนื่องจากการปกป้องตลับลูกปืนด้วยลูกเซรามิกที่มีความแม่นยำ
5. ฟังก์ชั่นสร้างพลังงานในกรณีที่ไฟฟ้าดับกะทันหัน
ข้อมูลจำเพาะ:
| แบบอย่าง | CXF-200/1401 |
| ความเร็วปั๊ม(ลิตร/วินาที,อากาศ) | 1400 |
| อัตราส่วนกำลังอัด | >1×107 |
| สุดยอดสุญญากาศ(Pa) | ≤2×10-6 |
| หน้าแปลนขาเข้า | DN200 ISO เค(LF) |
| DN200 ISO F | |
| DN200 ISO CF | |
| หน้าแปลนทางออก | เคเอฟ 40 |
| ความเร็วในการหมุน(รอบต่อนาที) | 33000 |
| เวลารันอัพ (นาที) | 6 |
| ไวบี (มม.) | <0.05 |
| ปั๊มสำรอง (ลิตร/วินาที) | 15 |
| การติดตั้งหรือการติดตั้ง | ใดๆ |
| วิธีการทำความเย็น | น้ำ |
| น้ำหนัก (กก.) (พร้อมตัวควบคุม) | 51 |
