Maglev-smering Moleculaire vacuümpomp voor chipproductie
Maglev-pomp, CXF-200/1401, waterkoeling, aan boord serie magnetisch zwevende moleculaire pompen worden voornamelijk toegepast op het gebied van de productie van halfgeleiders, clipproductie, industriële platering en wetenschappelijke instrumenten, vooral voor de extractie van corrosieve gassen die ...
Moleculaire vacuümpomp voor de productie van chips
,Maglev-moleculaire vacuümpomp
Maglev-pomp, CXF-200/1401, waterkoeling, aan boord
serie magnetisch zwevende moleculaire pompen worden voornamelijk toegepast op het gebied van de productie van halfgeleiders, clipproductie, industriële platering en wetenschappelijke instrumenten, vooral voor de extractie van corrosieve gassen die voorkomen bij ets-, cvd-, pvd- en ionenimplantatie en gassen die gemakkelijk worden gecoaguleerd bij normale temperatuur.
De voordelen:
1. Geen wrijving tijdens gebruik en laag stroomverbruik
2. Gemakkelijk om echt schoon hoogvacuüm en ultrahoogvacuüm te verkrijgen zonder smering voor pompen
3. Geschikt om corrosieve gassen voor lange termijn te extraheren
4. Hoge veiligheid en lange levensduur dankzij lagerbescherming met keramische precisiekogels
5. energieopwekkingsfunctie in geval van plotselinge uitschakeling
Specificaties:
| Model | CXF-200/1401 |
| Pompsnelheid (l/s, lucht) | 1400 |
| Compressieverhouding | >1×107 |
| Ultiem vacuüm (Pa) | ≤2×10-6 |
| Inlaatflens | DN200 ISO K(LF) |
| DN200 ISO F | |
| DN200 ISO CF | |
| Uitlaatflens | KF 40 |
| Rotatiesnelheid (rpm) | 33000 |
| Aanlooptijd (min) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Hulppomp (l/s) | 15 |
| Montage of oriëntatie | Elk |
| Koelmethode | Water |
| Gewicht (kg) (met controller) | 51 |
