Molekulare Vakuumpumpe mit Maglev-Schmierung für die Chipherstellung
Magnetschwebebahnpumpe, CXF-200/1401, Wasserkühlung, an Bord Magnetisch schwebende Molekularpumpen der Serie werden hauptsächlich in den Bereichen Halbleiterfertigung, Clipherstellung, industrielle Beschichtung und wissenschaftliche Instrumente eingesetzt, insbesondere zur Extraktion korrosiver Gase...
Molekulare Vakuumpumpe zur Herstellung von Chips
,Maglev-Molekülvakuumpumpe
Magnetschwebebahnpumpe, CXF-200/1401, Wasserkühlung, an Bord
Magnetisch schwebende Molekularpumpen der Serie werden hauptsächlich in den Bereichen Halbleiterfertigung, Clipherstellung, industrielle Beschichtung und wissenschaftliche Instrumente eingesetzt, insbesondere zur Extraktion korrosiver Gase, die beim Ätzen, CVD, PVD und der Ionenimplantation vorkommen, sowie von Gasen, die bei normaler Temperatur leicht koaguliert werden.
Die Vorteile:
1. Keine Reibung während des Betriebs und geringer Stromverbrauch
2. Einfach zu erreichendes wirklich sauberes Hochvakuum und Ultrahochvakuum ohne Schmierung für Pumpen
3. Kann korrosive Gase langfristig absaugen
4. Hohe Sicherheit und lange Lebensdauer durch Schutz der Lager mit Präzisionskeramikkugeln
5. Stromerzeugungsfunktion bei plötzlichem Ausschalten
Spezifikationen:
| Modell | CXF-200/1401 |
| Pumpengeschwindigkeit (l/s, Luft) | 1400 |
| Kompressionsverhältnis | >1×107 |
| Ultimatives Vakuum (Pa) | ≤2×10-6 |
| Einlassflansch | DN200 ISO K(LF) |
| DN200 ISO F | |
| DN200 ISO CF | |
| Auslassflansch | KF 40 |
| Drehzahl (U/min) | 33000 |
| Hochlaufzeit (min) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Vorvakuumpumpe (l/s) | 15 |
| Montage oder Ausrichtung | Beliebig |
| Kühlmethode | Wasser |
| Gewicht (kg) (mit Controller) | 51 |
