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商品の詳細:
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| 排気速度: | 1401L/秒 | 潤滑: | マグレフ |
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| フランジ: | ISO-F/CF200 | 冷却: | 水 |
| 名前: | チップ製造用磁気浮上式潤滑分子真空ポンプ | キーワード: | トルボ分子ポンプ |
| ハイライト: | マグレフ潤滑分子真空ポンプ,チップ製造分子真空ポンプ,マグレフ潤滑ターボ分子ポンプ |
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リニアモーターカーポンプ CXF-200/1401 水冷 車載
シリーズ磁気浮上分子ポンプは、主に半導体製造、クリップ製造、工業用メッキ、科学機器の分野に応用されており、特にエッチング、CVD、PVD、イオン注入中に存在する腐食性ガスや常温で凝集しやすいガスの抽出に使用されています。
利点:
1. 動作時のフリクションゼロ、低消費電力
2. ポンプ無給油で本当にクリーンな高真空・超高真空が簡単に得られます。
3. 長期間の腐食性ガスの抽出が可能
4. 精密セラミックボールによるベアリング保護により高い安全性と長寿命を実現
5. 突然の停電時の発電機能
仕様:
| モデル | CXF-200/1401 |
| ポンプ速度(l/s、エア) | 1400 |
| 圧縮率 | >1×107 |
| 到達真空度(Pa) | ≤2×10-6 |
| インレットフランジ | DN200 ISO K(LF) |
| DN200ISOF | |
| DN200 ISO CF | |
| 出口フランジ | KF40 |
| 回転数(rpm) | 33000 |
| 立ち上がり時間(分) | 6 |
| VIB (mm) | <0.05 |
| 補助ポンプ(L/s) | 15 |
| 取り付けまたは向き | どれでも |
| 冷却方法 | 水 |
| 重量(kg)(コントローラー含む) | 51 |
コンタクトパーソン: Mr. Shawn Liu
電話番号: 86-10-82548271
ファックス: 86-010-62564613
