Pompe à vide moléculaire de lubrification Maglev pour la fabrication de puces
Pompe Maglev , CXF-200/1401 , Refroidissement par eau , À bord Les pompes moléculaires à lévitation magnétique de la série sont principalement appliquées aux domaines de la fabrication de semi-conducteurs, de la fabrication de clips, du placage industriel et des instruments scientifiques, en ...
pompe à vide moléculaire de fabrication de puces
,Pompes à vide moléculaire
Pompe Maglev , CXF-200/1401 , Refroidissement par eau , À bord
Les pompes moléculaires à lévitation magnétique de la série sont principalement appliquées aux domaines de la fabrication de semi-conducteurs, de la fabrication de clips, du placage industriel et des instruments scientifiques, en particulier à l'extraction des gaz corrosifs existants dans l'implantation de gravure, cvd, pvd et ionique et des gaz facilement coagulés à température normale.
Les avantages :
1. Zéro friction pendant le fonctionnement et faible consommation d'énergie
2. Facile à acquérir un vide poussé et un vide ultra poussé vraiment propres sans lubrification pour les pompes
3. Capable d'extraire des gaz corrosifs à long terme
4. Haute sécurité et longue durée de vie grâce à la protection des roulements avec des billes en céramique de précision
5. fonction de production d'énergie en cas de mise hors tension soudaine
Caractéristiques:
| Modèle | CXF-200/1401 |
| Vitesse de la pompe (l/s, Air) | 1400 |
| Taux de compression | >1×107 |
| Vide ultime (Pa) | ≤2×10-6 |
| Bride d'entrée | DN200 ISO K(LF) |
| DN200 ISOF | |
| DN200 ISO CF | |
| Bride de sortie | 40 KF |
| Vitesse de rotation (tr/min) | 33000 |
| Temps de démarrage (min) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Pompe de support (L/s) | 15 |
| Montage ou orientation | N'importe lequel |
| Méthode de refroidissement | Eau |
| Poids (kg) (avec contrôleur) | 51 |
