Microscope électronique à balayage par filament de tungstène / Microscope électronique Sem EM69 Std
Comme KYKY a plus de 60 ans d'expérience dans la fabrication de SEM, toute la série EM prend en charge les anciens systèmes remis à neuf et personnalisés comme SEM+, tels que le remodelage de la lithographie par faisceau d'électrons, la mise à niveau du LaB6, intégré à STM, AFM, étage de chauffage, ...
Un microscope électronique
,une machine
Comme KYKY a plus de 60 ans d'expérience dans la fabrication de SEM, toute la série EM prend en charge les anciens systèmes remis à neuf et personnalisés comme SEM+, tels que le remodelage de la lithographie par faisceau d'électrons, la mise à niveau du LaB6, intégré à STM, AFM, étage de chauffage, étage cryo, étage de traction, manipulateur micro-nano, etc. Le système dispose également de plusieurs interfaces dans la chambre pour fixer la plupart des détecteurs d'analyse du marché.
Avantages :
◆ Modules à faible vide en option (LVSE, LVBSE)
◆ Fonctions d'automatisation riches
◆ Personnalisation des colonnes/chambres/systèmes électriques
◆ Chambre de grande taille en option
◆ Caméra de navigation grand champ
◆ Pièces jointes extensibles riches
Caractéristiques:
| Article | SEM à filament de tungstène EM6910 | |
| Résolution | SE : 3 nm à 30 KV, 8 nm à 3 kV ; ESB : 4 nm à 30 KV. | |
| Grossissement | 1x-450000x | |
| Pistolet à électrons | Filament de tungstène pré-aligné | |
| Tension accélératrice |
0,2kV-30kV
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Système de vide
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Pompe moléculaire Turbo + pompe mécanique
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| Ouverture de l'objectif | Système de vide extérieur réglable à ouverture en molybdène | |
| Stade du spécimen | Étape cinq axes | |
| Voyage | X(Automatique) | 0 ~ 80mm |
| Gamme | Y (Automatique) | 0 ~ 50mm |
| Z(Manuel) | 0 ~ 30mm | |
| R(Manuel) | 360° | |
| T(Manuel) | -5° ~ 70° | |
| Diamètre maximum de l'échantillon | 175mm | |
| Détecteur |
Détecteur d'électrons secondaires
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Détecteur d'ESB à semi-conducteur※
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CCD infrarouge
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| SED à faible vide※/BSED à faible vide ※
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| Modification | Mise à niveau de scène ; EBL ; STM ; AFM ; Étape de chauffage ; Stade cryogénique ; Étape de traction ; Manipulateur micro-nano ; SEM+Machine de revêtement ; SEM+Laser | |
| Accessoires | LaB6, détecteur de rayons X (EDS), EBSD, CL, WDS, machine de revêtement | |
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Fonction de faible vide※
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Niveau de vide 10-270Pa SE:4nm@30kv,50Pa
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