| 解決: | SE：3nm@30KV、8nm@3kV； BSE：4nm@30KV | 倍率: | 1x-450000x |
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| 試料ステージ: | 5軸ステージ | 電子銃: | 前一直線に並べられたタングステンのフィラメント |
| ハイライト: | 電子顕微鏡,電子機械 |
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KYKYは60年以上のSEM製造経験があるため、EMシリーズ全体は、電子ビームリソグラフィーの改造、LaB6のアップグレード、STM、AFM、加熱ステージ、クライオステージ、引張ステージ、マイクロナノマニピュレーターなどと統合された、古いシステムの改修およびカスタマイズされたシステムをSEM+としてサポートしています。また、システムには、市場のほとんどの分析検出器を取り付けるためのチャンバーに複数のインターフェースがあります。
利点:
◆ オプションの低真空モジュール(LVSE、LVBSE)
◆豊富な自動化機能
◆ カラム/チャンバー/電気システムのカスタマイズ
◆オプションのビッグサイズチャンバー
◆広視野ナビゲーションカメラ
◆充実の拡張アタッチメント
仕様:
| アイテム | EM6910 タングステンフィラメントSEM | |
| 解決 | SE:3nm@30KV、8nm@3kV； BSE:4nm@30KV | |
| 倍率 | 1x-450000x | |
| 電子銃 | 事前に調整されたタングステンフィラメント | |
| 加速電圧 |
0.2kV～30kV
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真空システム
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ターボ分子ポンプ+メカニカルポンプ
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| 対物絞り | モリブデン絞りは外部真空システムで調整可能 | |
| 試料ステージ | 5軸ステージ | |
| 旅行 | X(自動) | 0～80mm |
| 範囲 | Y(自動) | 0～50mm |
| Z(マニュアル) | 0～30mm | |
| R(マニュアル) | 360° | |
| T(マニュアル) | -5°～70° | |
| 最大試験片直径 | 175mm | |
| 検出器 |
二次電子検出器
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半導体BSE検出器※
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赤外線CCD
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| 低真空SED※/低真空BSED※
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| 修正 | ステージアップグレード;EBL; STM; AFM;加熱ステージ;クライオステージ;引張ステージ ;マイクロナノマニピュレーター。 SEM+コーティング機;SEM+レーザー | |
| 付属品 | LaB6、X線検出器(EDS)、EBSD、CL、WDS、コーティング機 | |
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低真空機能※
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真空度 10-270Pa SE:4nm@30kv,50Pa
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コンタクトパーソン: Mr. Shawn Liu
電話番号: 86-10-82548271
ファックス: 86-010-62564613
