वोल्फ्रेम फिलामेंट स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप / सेम इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप EM69 Std
KYKY के पास 60 से अधिक वर्षों का SEM निर्माण अनुभव है, पूरी EM श्रृंखला SEM+ के रूप में पुराने सिस्टम को नवीनीकृत और अनुकूलित सिस्टम का समर्थन करती है, जैसे कि इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी रीमॉडेल, LaB6 अपग्रेड, STM, AFM, हीटिंग स्टेज; क्रायो स्टेज; टेन्साइल स्टेज; माइक्रो-नैनो मैनिपुलेटर आदि के साथ एक...
सेम इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप
,सेम मशीन
KYKY के पास 60 से अधिक वर्षों का SEM निर्माण अनुभव है, पूरी EM श्रृंखला SEM+ के रूप में पुराने सिस्टम को नवीनीकृत और अनुकूलित सिस्टम का समर्थन करती है, जैसे कि इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी रीमॉडेल, LaB6 अपग्रेड, STM, AFM, हीटिंग स्टेज; क्रायो स्टेज; टेन्साइल स्टेज; माइक्रो-नैनो मैनिपुलेटर आदि के साथ एकीकृत। बाजार में अधिकांश विश्लेषण डिटेक्टरों को जोड़ने के लिए सिस्टम में चैम्बर में कई इंटरफ़ेस भी हैं।
लाभ:
◆ वैकल्पिक कम वैक्यूम मॉड्यूल (एलवीएसई, एलवीबीएसई)
◆ समृद्ध स्वचालन कार्य
◆ कॉलम/चेंबर/इलेक्ट्रिक सिस्टम अनुकूलन
◆ वैकल्पिक बड़े आकार का कक्ष
◆ वाइड फील्ड नेविगेशन कैमरा
◆ समृद्ध विस्तार अनुलग्नक
विशेष विवरण:
| वस्तु | EM6910 टंगस्टन फिलामेंट SEM | |
| संकल्प | एसई:3एनएम@30केवी,8एनएम@3केवी； बीएसई:4एनएम@30केवी | |
| बढ़ाई | 1x-450000x | |
| इलेक्ट्रॉन गन | पूर्व-संरेखित टंगस्टन फिलामेंट | |
| त्वरित वोल्टेज |
0.2kV-30kV
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निर्वात प्रणाली
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टर्बो आणविक पंप + यांत्रिक पंप
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| उद्देश्य एपर्चर | मोलिब्डेनम एपर्चर समायोज्य बाहरी वैक्यूम प्रणाली | |
| नमूना चरण | पांच अक्ष चरण | |
| यात्रा | एक्स(ऑटो) | 0 ~ 80 मिमी |
| श्रेणी | वाई(ऑटो) | 0 ~ 50 मिमी |
| जेड(मैनुअल) | 0 ~ 30 मिमी | |
| आर(मैनुअल) | 360° | |
| टी(मैनुअल) | -5° ~ 70° | |
| अधिकतम नमूना व्यास | 175 मिमी | |
| डिटेक्टर |
माध्यमिक इलेक्ट्रॉन डिटेक्टर
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सेमीकंडक्टर बीएसई डिटेक्टर※
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इन्फ्रारेड सीसीडी
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| कम-वैक्यूम SED※/ कम-वैक्यूम BSED ※
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| परिवर्तन | स्टेज अपग्रेड;ईबीएल; एसटीएम; एएफएम; तापन चरण; क्रायो स्टेज; तन्यता चरण; माइक्रो-नैनो मैनिपुलेटर; SEM+कोटिंग मशीन;SEM+लेजर | |
| सामान | LaB6, एक्स-रे डिटेक्टर (EDS), EBSD, CL, WDS, कोटिंग मशीन | |
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कम वैक्यूम फ़ंक्शन※
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वैक्यूम स्तर 10-270Pa SE:4nm@30kv,50Pa
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