| 해결: | SE: 3nm@30KV, 8nm@3kV; BSE: 4nm@30KV | 확대: | 1x-450000x |
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| 시편 스테이지: | 5축 스테이지 | 전자총: | 미리 정렬된 텅스텐 필라멘트 |
| 강조하다: | 반전자 현미경,sem 기계 |
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60년 이상의 SEM 제조 경험을 보유한 KYKY로서 전체 EM 시리즈는 전자빔 리소그래피 리모델링, LaB6 업그레이드, STM, AFM, 가열 스테이지 통합, 극저온 스테이지, 인장 스테이지, 마이크로 나노 조작기 등과 같은 SEM+와 같은 구형 시스템 리퍼브 및 맞춤형 시스템을 지원합니다. 시스템은 또한 시장에 있는 대부분의 분석 검출기를 부착하기 위해 챔버에 다중 인터페이스를 가지고 있습니다.
장점:
◆ 옵션 저진공 모듈(LVSE,LVBSE)
◆ 풍부한 자동화 기능
◆ 컬럼/챔버/전기 시스템 맞춤화
◆ 대형 챔버 옵션
◆ 광시야 항법 카메라
◆ 풍부한 확장 첨부 파일
명세서:
| 목 | EM6910 텅스텐 필라멘트 SEM | |
| 해결 | SE:3nm@30KV,8nm@3kV; BSE:4nm@30KV | |
| 확대 | 1x-450000x | |
| 전자총 | 사전 정렬된 텅스텐 필라멘트 | |
| 가속 전압 |
0.2kV-30kV
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진공 시스템
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터보 분자 펌프 + 기계식 펌프
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| 대물 조리개 | 외부 진공 시스템으로 조절 가능한 몰리브덴 조리개 | |
| 시편 스테이지 | 5축 스테이지 | |
| 여행하다 | X(자동) | 0 ~ 80mm |
| 범위 | Y(자동) | 0 ~ 50mm |
| Z(수동) | 0 ~ 30mm | |
| R(수동) | 360° | |
| T(수동) | -5° ~ 70° | |
| 최대 시편 직경 | 175mm | |
| 탐지기 |
2차 전자 검출기
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반도체 BSE 검출기※
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적외선 CCD
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| 저진공 SED※/ 저진공 BSED ※
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| 가감 | 스테이지 업그레이드;EBL; STM; AFM; 가열단계; 크라이오 스테이지; 인장단계 ; 마이크로나노 조작기; SEM+코팅기;SEM+레이저 | |
| 부속품 | LaB6,X-Ray Detector(EDS),EBSD,CL,WDS,코팅기 | |
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저진공 기능※
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진공 수준 10-270Pa SE:4nm@30kv,50Pa
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담당자: Mr. Shawn Liu
전화 번호: 86-10-82548271
팩스: 86-010-62564613
