میکروسکوپ الکترونی اسکن فیلامنت ولتفرم / میکروسکوپ الکترونی سیم EM69 Std
با بیش از 60 سال تجربه KYKY در تولید SEM، کل سری EM از سیستم قدیمی بازسازی شده و سفارشی شده به عنوان SEM+ پشتیبانی می کند، مانند بازسازی لیتوگرافی پرتو الکترونی، ارتقاء LaB6، ادغام شده با STM، AFM، مرحله گرمایش؛ مرحله کرایو؛ مرحله کششی؛ میکرو نانو همچنین دارای آنالیز آشکارساز چندگانه در بیشتر محفظه ...
میکروسکوپ الکترونی
,دستگاه
با بیش از 60 سال تجربه KYKY در تولید SEM، کل سری EM از سیستم قدیمی بازسازی شده و سفارشی شده به عنوان SEM+ پشتیبانی می کند، مانند بازسازی لیتوگرافی پرتو الکترونی، ارتقاء LaB6، ادغام شده با STM، AFM، مرحله گرمایش؛ مرحله کرایو؛ مرحله کششی؛ میکرو نانو همچنین دارای آنالیز آشکارساز چندگانه در بیشتر محفظه دستکاری کننده سیستم و غیره است.
مزایا:
◆ ماژول های کم خلاء اختیاری (LVSE، LVBSE)
◆ توابع اتوماسیون غنی
◆ سفارشی سازی ستون / محفظه / سیستم الکتریکی
◆ اختیاری اتاق اندازه بزرگ
◆ دوربین ناوبری میدان گسترده
◆ پیوست های غنی در حال گسترش
مشخصات:
| مورد | SEM رشته تنگستن EM6910 | |
| قطعنامه | SE: 3nm@30KV، 8nm@3kV؛ BSE:4nm@30KV | |
| بزرگنمایی | 1x-450000x | |
| تفنگ الکترونی | رشته تنگستن از پیش تراز شده | |
| ولتاژ شتاب دهنده |
0.2kV-30kV
|
|
|
سیستم خلاء
|
پمپ مولکولی توربو + پمپ مکانیکی
|
|
| دیافراگم شیئی | دیافراگم مولیبدن قابل تنظیم سیستم خلاء بیرونی | |
| مرحله نمونه | مرحله پنج محور | |
| سفر کنید | X (خودکار) | 0 تا 80 میلی متر |
| محدوده | Y (خودکار) | 0 تا 50 میلی متر |
| Z (دستی) | 0 تا 30 میلی متر | |
| R (دستی) | 360 درجه | |
| T (دستی) | -5 تا 70 درجه | |
| حداکثر قطر نمونه | 175 میلی متر | |
| آشکارساز |
آشکارساز الکترون ثانویه
|
|
|
آشکارساز BSE نیمه هادی※
|
||
|
CCD مادون قرمز
|
||
| SED با خلاء کم※/ BSED با خلاء کم ※
|
||
| اصلاح | ارتقاء مرحله؛ EBL; STM; AFM; مرحله گرمایش؛ کریو استیج; مرحله کششی؛ دستکاری میکرو نانو؛ SEM + دستگاه پوشش؛ SEM + لیزر | |
| لوازم جانبی | LaB6، آشکارساز اشعه ایکس (EDS)، EBSD، CL، WDS، دستگاه پوشش | |
|
عملکرد خلاء کم※
|
سطح خلاء 10-270Pa SE:4nm@30kv،50Pa
|
|
