Вольфрамовый электронный микроскоп / Sem Electron Microscope EM69 Std
Поскольку компания KYKY имеет более чем 60-летний опыт производства SEM, вся серия EM поддерживает отремонтированные и индивидуальные системы старых систем, такие как SEM +, такие как модернизация электронно-лучевой литографии, модернизация LaB6, интеграция с STM, AFM, этап нагрева; крио-этап; этап ...
электронный микроскоп СЭМ
,машина СЭМ
Поскольку компания KYKY имеет более чем 60-летний опыт производства SEM, вся серия EM поддерживает отремонтированные и индивидуальные системы старых систем, такие как SEM +, такие как модернизация электронно-лучевой литографии, модернизация LaB6, интеграция с STM, AFM, этап нагрева; крио-этап; этап растяжения; микро-нано-манипулятор и т. д. Система также имеет несколько интерфейсов в камере для подключения большинства детекторов анализа, имеющихся на рынке.
Преимущества:
◆ Дополнительные модули низкого вакуума (LVSE,LVBSE).
◆ Богатые функции автоматизации
◆ Настройка колонны/камеры/электрической системы
◆ Опциональная камера большого размера
◆ Широкоугольная навигационная камера
◆ Богатые расширяемые вложения
Технические характеристики:
| Элемент | EM6910 СЭМ с вольфрамовой нитью | |
| Разрешение | SE: 3 нм при 30 кВ, 8 нм при 3 кВ; BSE: 4 нм при 30 кВ; | |
| Увеличение | 1x-450000x | |
| Электронная пушка | Предварительно выровненная вольфрамовая нить | |
| Ускоряющее напряжение |
0,2кВ-30кВ
|
|
|
Вакуумная система
|
Турбо-молекулярный насос +механический насос
|
|
| Объективная апертура | Молибденовая апертура, регулируемая внешняя вакуумная система | |
| Этап образца | Этап пяти осей | |
| Путешествовать | Х(Авто) | 0 ~ 80 мм |
| Диапазон | Д (авто) | 0 ~ 50 мм |
| Z (Ручной) | 0 ~ 30 мм | |
| Р (Ручной) | 360° | |
| Т (Ручной) | -5° ~ 70° | |
| Максимальный диаметр образца | 175 мм | |
| Детектор |
Детектор вторичных электронов
|
|
|
Полупроводниковый детектор BSE※
|
||
|
Инфракрасная ПЗС-матрица
|
||
| SED с низким вакуумом※/ BSED с низким вакуумом ※
|
||
| Модификация | Этап обновления;EBL; СТМ; АСМ; Этап нагрева; Криоэтап; Стадия растяжения; Микро-нано манипулятор; SEM+лакировочная машина;SEM+лазер | |
| Аксессуары | LaB6, детектор рентгеновских лучей (EDS), EBSD, CL, WDS, машина для нанесения покрытий | |
|
Функция низкого вакуума※
|
Уровень вакуума 10-270 Па SE: 4 нм при 30 кВ, 50 Па
|
|
