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Produktdetails:
Zahlung und Versand AGB:
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| Auflösung: | SE: 3 nm bei 30 kV, 8 nm bei 3 kV; BSE: 4 nm bei 30 kV | Vergrößerung: | 1x-450000x |
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| Probenbühne: | Fünf-Achsen-Bühne | Elektronenkanone: | Vor-ausgerichteter Wolframfaden |
| Hervorheben: | SEM-Elektronenmikroskop,SEM-Maschine |
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Da KYKY über 60 Jahre Erfahrung in der SEM-Herstellung verfügt, unterstützt die gesamte EM-Serie generalüberholte und kundenspezifische Systeme wie SEM+, z. B. den Umbau der Elektronenstrahl-Lithographie, das LaB6-Upgrade, integriert mit STM, AFM, Heiztisch, Kryotisch, Zugtisch, Mikro-Nano-Manipulator usw. Das System verfügt außerdem über mehrere Schnittstellen an der Kammer, um die meisten auf dem Markt erhältlichen Analysedetektoren anzuschließen
Vorteile:
◆ Optionale Niedervakuummodule (LVSE, LVBSE)
◆ Umfangreiche Automatisierungsfunktionen
◆ Säulen-/Kammer-/Elektrosystem-Anpassung
◆ Optionale große Kammer
◆ Weitfeld-Navigationskamera
◆ Umfangreiche, erweiterbare Anhänge
Spezifikationen:
| Artikel | EM6910 Wolframfilament-REM | |
| Auflösung | SE: 3 nm bei 30 kV, 8 nm bei 3 kV; BSE: 4 nm bei 30 kV | |
| Vergrößerung | 1x-450000x | |
| Elektronenkanone | Vorausgerichteter Wolframfaden | |
| Beschleunigungsspannung |
0,2 kV-30 kV
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Vakuumsystem
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Turbo-Molekularpumpe + mechanische Pumpe
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| Objektive Blende | Einstellbares externes Vakuumsystem mit Molybdän-Apertur | |
| Probenbühne | Bühne mit fünf Achsen | |
| Reisen | X(Auto) | 0 ~ 80 mm |
| Reichweite | Y (Auto) | 0 ~ 50 mm |
| Z (manuell) | 0 ~ 30 mm | |
| R (Manuell) | 360° | |
| T (manuell) | -5° ~ 70° | |
| Maximaler Probendurchmesser | 175 mm | |
| Detektor |
Sekundärelektronendetektor
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Halbleiter-BSE-Detektor※
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Infrarot-CCD
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| Niedervakuum-SED※/ Niedervakuum-BSED※
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| Änderung | Bühnen-Upgrade;EBL; STM; AFM; Heizstufe; Kryo-Stufe; Zugstufe; Mikro-Nano-Manipulator; SEM+Beschichtungsmaschine;SEM+Laser | |
| Zubehör | LaB6, Röntgendetektor (EDS), EBSD, CL, WDS, Beschichtungsmaschine | |
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Niedrigvakuumfunktion※
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Vakuumniveau 10–270 Pa SE: 4 nm bei 30 kV, 50 Pa
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Ansprechpartner: Mr. Shawn Liu
Telefon: 86-10-82548271
Faxen: 86-010-62564613