Microscópio Eletrônico de Análise de Filamentos de Tungsténio / Microscópio Eletrônico Sem EM69 Std
Como KYKY com mais de 60 anos de experiência em fabricação de SEM, toda a série EM suporta sistemas antigos reformados e personalizados como SEM +, como remodelação de litografia por feixe de elétrons, atualização LaB6, integrado com STM, AFM, estágio de aquecimento; O microscópio eletrônico de ...
microscópio eletrônico sem
,máquina sem
Como KYKY com mais de 60 anos de experiência em fabricação de SEM, toda a série EM suporta sistemas antigos reformados e personalizados como SEM +, como remodelação de litografia por feixe de elétrons, atualização LaB6, integrado com STM, AFM, estágio de aquecimento;
Vantagens:
◆ Módulos opcionais de baixo vácuo (LVSE, LVBSE)
◆ Funções de automação avançadas
◆ Personalização de Coluna/Câmara/Sistema Elétrico
◆ Câmara opcional de tamanho grande
◆ Câmera de navegação de campo amplo
◆ Anexos expansíveis ricos
Especificações:
| Item | Filamento de tungstênio EM6910 SEM | |
| Resolução | SE:3nm@30KV,8nm@3kV; BSE:4nm@30KV | |
| Ampliação | 1x-450000x | |
| Arma de elétrons | Filamento de tungstênio pré-alinhado | |
| Tensão acelerada |
0,2kV-30kV
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Sistema de vácuo
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Bomba Turbo Molecular + bomba mecânica
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| Abertura objetiva | Abertura de molibdênio ajustável sistema de vácuo externo | |
| Estágio de amostra | Estágio de cinco eixos | |
| Viagem | X(automático) | 0 ~ 80 mm |
| Faixa | Y (automático) | 0 ~ 50 mm |
| Z(Manual) | 0 ~ 30 mm | |
| R(Manual) | 360° | |
| T(Manual) | -5° ~ 70° | |
| Diâmetro máximo da amostra | 175 mm | |
| Detector |
Detector de elétrons secundário
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Detector semicondutor de BSE※
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CCD infravermelho
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| SED de baixo vácuo※/ BSED de baixo vácuo ※
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| Modificação | Atualização de estágio; EBL; STM; AFM; Estágio de Aquecimento; Estágio Crio; Estágio de tração; Manipulador micro-nano; SEM+Máquina de Revestimento;SEM+Laser | |
| Acessórios | LaB6, detector de raios X (EDS), EBSD, CL, WDS, máquina de revestimento | |
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Função de baixo vácuo※
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Nível de vácuo 10-270Pa SE:4nm@30kv,50Pa
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