Microscopio elettronico a filamento di tungsteno / Microscopio elettronico Sem EM69 Std
Poiché KYKY ha oltre 60 anni di esperienza nella produzione di SEM, l'intera serie EM supporta il vecchio sistema rinnovato e personalizzato come SEM+, come il rimodellamento della litografia a fascio di elettroni, l'aggiornamento LaB6, integrato con STM, AFM, stadio di riscaldamento; stadio ...
Microscopio elettronico sem
,macchina sem
Poiché KYKY ha oltre 60 anni di esperienza nella produzione di SEM, l'intera serie EM supporta il vecchio sistema rinnovato e personalizzato come SEM+, come il rimodellamento della litografia a fascio di elettroni, l'aggiornamento LaB6, integrato con STM, AFM, stadio di riscaldamento; stadio criogenico; stadio di trazione; micro-nano manipolatore ecc. Il sistema ha anche più interfacce nella camera per collegare la maggior parte dei rilevatori di analisi sul mercato
Vantaggi:
◆ Moduli opzionali a basso vuoto (LVSE, LVBSE)
◆ Ricche funzioni di automazione
◆ Personalizzazione Colonna/Camera/Impianto Elettrico
◆ Camera opzionale di grandi dimensioni
◆ Telecamera per navigazione ad ampio campo
◆ Ricchi allegati espandibili
Specifiche:
| Articolo | EM6910 Filamento di tungsteno SEM | |
| Risoluzione | SE:3nm@30KV,8nm@3kV; BSE:4nm@30KV | |
| Ingrandimento | 1x-450000x | |
| Pistola elettronica | Filamento di tungsteno preallineato | |
| Tensione di accelerazione |
0,2 kV-30 kV
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Sistema di vuoto
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Pompa Turbo Molecolare + pompa meccanica
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| Apertura dell'obiettivo | Sistema di vuoto esterno regolabile con apertura in molibdeno | |
| Fase del campione | Palcoscenico a cinque assi | |
| Viaggio | X(Automatico) | 0 ~ 80 mm |
| Allineare | Sì (automatico) | 0 ~ 50 mm |
| Z(Manuale) | 0 ~ 30 mm | |
| R(Manuale) | 360° | |
| T(Manuale) | -5°~70° | |
| Diametro massimo del campione | 175 mm | |
| Rivelatore |
Rivelatore di elettroni secondari
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Rilevatore BSE a semiconduttore※
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CCD a infrarossi
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| SED a basso vuoto※/ BSED a basso vuoto ※
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| Modifica | Aggiornamento di fase;EBL; STM; AFM; Fase di riscaldamento; Fase criogenica; Fase di trazione; Micro-nano manipolatore; SEM+Macchina di rivestimento;SEM+Laser | |
| Accessori | LaB6, rilevatore di raggi X (EDS), EBSD, CL, WDS, macchina di rivestimento | |
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Funzione basso vuoto※
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Livello di vuoto 10-270Pa SE:4nm@30kv,50Pa
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