Microscopio electrónico de escaneo con filamento de tungsteno / Microscopio electrónico Sem EM69 Std
Como KYKY tiene más de 60 años de experiencia en la fabricación de SEM, toda la serie EM admite sistemas antiguos restaurados y personalizados como SEM+, como remodelación de litografía por haz de electrones, actualización de LaB6, integración con STM, AFM, etapa de calentamiento, etapa criogénica, ...
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Como KYKY tiene más de 60 años de experiencia en la fabricación de SEM, toda la serie EM admite sistemas antiguos restaurados y personalizados como SEM+, como remodelación de litografía por haz de electrones, actualización de LaB6, integración con STM, AFM, etapa de calentamiento, etapa criogénica, etapa de tracción, manipulador micronano, etc. El sistema también tiene múltiples interfaces en la cámara para conectar la mayoría de los detectores de análisis en el mercado.
Ventajas:
◆ Módulos de bajo vacío opcionales (LVSE, LVBSE)
◆ Ricas funciones de automatización
◆ Personalización de columna/cámara/sistema eléctrico
◆ Cámara de gran tamaño opcional
◆ Cámara de navegación de campo amplio
◆ Archivos adjuntos enriquecidos en expansión
Presupuesto:
| Artículo | EM6910 Filamento de tungsteno SEM | |
| Resolución | SE: 3nm@30KV, 8nm@3kV; EEB: 4nm@30KV | |
| Aumento | 1x-450000x | |
| Pistola de electrones | Filamento de tungsteno prealineado | |
| Voltaje de aceleración |
0,2 kV-30 kV
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Sistema de vacío
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Bomba Turbo Molecular + bomba mecánica
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| Apertura objetiva | Sistema de vacío exterior ajustable con apertura de molibdeno. | |
| Etapa de muestra | Etapa de cinco ejes | |
| Viajar | X(automático) | 0 ~ 80 mm |
| Rango | Sí (automático) | 0 ~ 50 mm |
| Z(manual) | 0 ~ 30 mm | |
| R(manual) | 360° | |
| T(manual) | -5° ~ 70° | |
| Diámetro máximo de la muestra | 175mm | |
| Detector |
Detector de electrones secundario
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Detector de EEB semiconductor※
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CCD infrarrojo
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| SED de bajo vacío※/ BSED de bajo vacío ※
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| Modificación | Actualización de etapa; EBL; STM; AFM; Etapa De Calentamiento; Etapa criogénica; etapa de tracción; Micronanomanipulador; SEM+Máquina de recubrimiento;SEM+Láser | |
| Accesorios | LaB6, detector de rayos X (EDS), EBSD, CL, WDS, máquina de recubrimiento | |
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Función de bajo vacío※
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Nivel de vacío 10-270Pa SE:4nm@30kv,50Pa
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