Μικροσκόπιο ηλεκτρονικών σαρώσεων με νήματα βολφραμίου / Μικροσκόπιο ηλεκτρονικών σμηνών EM69 Std
Καθώς η KYKY πάνω από 60 χρόνια εμπειρίας στην κατασκευή SEM, ολόκληρη η σειρά EM υποστηρίζει παλιό σύστημα ανακαινισμένο και προσαρμοσμένο σύστημα ως SEM+, όπως αναδιαμόρφωση λιθογραφίας δέσμης ηλεκτρονίων, αναβάθμιση LaB6, ενσωματωμένο με STM, AFM, Στάδιο θέρμανσης, Cryo Stage, Tensile Stage, ...
Μικρό ηλεκτρονικό μικροσκόπιο
,μηχάνημα
Καθώς η KYKY πάνω από 60 χρόνια εμπειρίας στην κατασκευή SEM, ολόκληρη η σειρά EM υποστηρίζει παλιό σύστημα ανακαινισμένο και προσαρμοσμένο σύστημα ως SEM+, όπως αναδιαμόρφωση λιθογραφίας δέσμης ηλεκτρονίων, αναβάθμιση LaB6, ενσωματωμένο με STM, AFM, Στάδιο θέρμανσης, Cryo Stage, Tensile Stage, Micro-nano έχει επίσης ανάλυση για πολλαπλούς χειριστές συστήματος στην αγορά κ.λπ.
Πλεονεκτήματα:
◆ Προαιρετικές μονάδες χαμηλής υποπίεσης (LVSE, LVBSE)
◆ Πλούσιες λειτουργίες αυτοματισμού
◆ Προσαρμογή στήλης/θάλαμου/ηλεκτρικού συστήματος
◆ Προαιρετικός θάλαμος μεγάλου μεγέθους
◆ Κάμερα πλοήγησης ευρέος πεδίου
◆ Πλούσια επεκτεινόμενα εξαρτήματα
Προδιαγραφές:
| Είδος | EM6910 νήμα βολφραμίου SEM | |
| Ψήφισμα | SE:3nm@30KV,8nm@3kV; BSE:4nm@30KV | |
| Μεγέθυνση | 1x-450000x | |
| Ηλεκτρονικό πιστόλι | Προ-ευθυγραμμισμένο νήμα βολφραμίου | |
| Επιτάχυνση τάσης |
0,2kV-30kV
|
|
|
Σύστημα κενού
|
Turbo Μοριακή αντλία +μηχανική αντλία
|
|
| Αντικειμενικό διάφραγμα | Εξωτερικό σύστημα κενού ρυθμιζόμενου ανοίγματος από μολυβδαίνιο | |
| Στάδιο δείγματος | Στάδιο πέντε άξονες | |
| Ταξίδι | X (Αυτόματο) | 0 ~ 80 mm |
| Σειρά | Y (Αυτόματο) | 0 ~ 50 mm |
| Z (Εγχειρίδιο) | 0 ~ 30 mm | |
| R (Εγχειρίδιο) | 360° | |
| T (Εγχειρίδιο) | -5° ~ 70° | |
| Μέγιστη διάμετρος δείγματος | 175 χιλιοστά | |
| Ανιχνευτής |
Δευτερεύων ανιχνευτής ηλεκτρονίων
|
|
|
Ημιαγωγός ανιχνευτής ΣΕΒ※
|
||
|
Υπέρυθρη CCD
|
||
| SED χαμηλού κενού※/ BSED χαμηλού κενού ※
|
||
| Τροποποίηση | Αναβάθμιση Σταδίου;EBL; STM; AFM; Στάδιο θέρμανσης; Cryo Stage; Εφελκυστικό Στάδιο ; Μικρο-νανοχειριστής; Μηχανή επίστρωσης SEM+SEM+Laser | |
| Αξεσουάρ | LaB6, Ανιχνευτής ακτίνων Χ (EDS), EBSD, CL, WDS, Μηχάνημα επίστρωσης | |
|
Λειτουργία χαμηλής υποπίεσης※
|
Επίπεδο κενού 10-270Pa SE:4nm@30kv,50Pa
|
|
