|
Ürün ayrıntıları:
Ödeme & teslimat koşulları:
|
| Çözünürlük: | SE:3nm@30KV,8nm@3kV; BSE:4nm@30KV | Büyütme: | 1x-450000x |
|---|---|---|---|
| Numune Aşaması: | Beş Eksen Aşaması | Elektron silahı: | Önceden Hizalanmış Tungsten Filament |
| Vurgulamak: | sem elektron mikroskobu,sem makinesi |
||
KYKY'nin 60 yılı aşkın SEM üretim tecrübesi olarak tüm EM serisi, Elektron Işını Litografisi tadilatı, LaB6 yükseltmesi, STM, AFM, Isıtma Aşaması; Kriyo Aşaması; Çekme Aşaması; Mikro-nano manipülatör vb. ile entegre eski sistem yenilenmiş ve SEM + olarak özelleştirilmiş sistemi destekler. Sistem ayrıca piyasadaki analiz dedektörlerinin çoğunu bağlamak için bölmede birden fazla arayüze sahiptir.
Avantajları:
◆ Opsiyonel düşük vakum modülleri(LVSE,LVBSE)
◆ Zengin otomasyon fonksiyonları
◆ Sütun/Oda/Elektrik Sistemi Özelleştirmesi
◆ Opsiyonel Büyük boy hazne
◆ Geniş alan navigasyon kamerası
◆ Zengin genişleyen ekler
Özellikler:
| Öğe | EM6910 Tungsten Filaman SEM | |
| Çözünürlük | SE:3nm@30KV,8nm@3kV; BSE:4nm@30KV | |
| Büyütme | 1x-450000x | |
| Elektron Tabancası | Önceden hizalanmış tungsten filament | |
| Hızlanma Gerilimi |
0.2kV-30kV
|
|
|
Vakum sistemi
|
Turbo Moleküler pompa +mekanik pompa
|
|
| Objektif Açıklığı | Molibden açıklığı ayarlanabilir dış vakum sistemi | |
| Numune Aşaması | Beş eksen aşaması | |
| Seyahat | X(Otomatik) | 0 ~ 80 mm |
| Menzil | Y(Otomatik) | 0 ~ 50mm |
| Z(Manuel) | 0 ~ 30mm | |
| R(Manuel) | 360° | |
| T(Manuel) | -5° ~ 70° | |
| Maksimum Numune Çapı | 175mm | |
| Dedektör |
İkincil elektron dedektörü
|
|
|
Yarı iletken BSE dedektörü※
|
||
|
Kızılötesi CCD
|
||
| Düşük vakumlu SED※/ Düşük vakumlu BSED ※
|
||
| Değişiklik | Aşama Yükseltme;EBL; STM; AFM; Isıtma Aşaması; Kriyo Aşaması; Çekme Aşaması; Mikro nano manipülatör; SEM+Kaplama Makinası;SEM+Lazer | |
| Aksesuarlar | LaB6,X-Ray Dedektörü(EDS),EBSD,CL,WDS,Kaplama Makinası | |
|
Düşük vakum fonksiyonu※
|
Vakum seviyesi 10-270Pa SE:4nm@30kv,50Pa
|
|
İlgili kişi: Mr. Shawn Liu
Tel: 86-10-82548271
Faks: 86-010-62564613