Volfram Filament Tarama Elektron Mikroskobu / Sem Elektron Mikroskobu EM69 Std
KYKY'nin 60 yılı aşkın SEM üretim tecrübesi olarak tüm EM serisi, Elektron Işını Litografisi tadilatı, LaB6 yükseltmesi, STM, AFM, Isıtma Aşaması; Kriyo Aşaması; Çekme Aşaması; Mikro-nano manipülatör vb. ile entegre eski sistem yenilenmiş ve SEM + olarak özelleştirilmiş sistemi destekler. Sistem ayr...
sem elektron mikroskobu
,sem makinesi
KYKY'nin 60 yılı aşkın SEM üretim tecrübesi olarak tüm EM serisi, Elektron Işını Litografisi tadilatı, LaB6 yükseltmesi, STM, AFM, Isıtma Aşaması; Kriyo Aşaması; Çekme Aşaması; Mikro-nano manipülatör vb. ile entegre eski sistem yenilenmiş ve SEM + olarak özelleştirilmiş sistemi destekler. Sistem ayrıca piyasadaki analiz dedektörlerinin çoğunu bağlamak için bölmede birden fazla arayüze sahiptir.
Avantajları:
◆ Opsiyonel düşük vakum modülleri(LVSE,LVBSE)
◆ Zengin otomasyon fonksiyonları
◆ Sütun/Oda/Elektrik Sistemi Özelleştirmesi
◆ Opsiyonel Büyük boy hazne
◆ Geniş alan navigasyon kamerası
◆ Zengin genişleyen ekler
Özellikler:
| Öğe | EM6910 Tungsten Filaman SEM | |
| Çözünürlük | SE:3nm@30KV,8nm@3kV; BSE:4nm@30KV | |
| Büyütme | 1x-450000x | |
| Elektron Tabancası | Önceden hizalanmış tungsten filament | |
| Hızlanma Gerilimi |
0.2kV-30kV
|
|
|
Vakum sistemi
|
Turbo Moleküler pompa +mekanik pompa
|
|
| Objektif Açıklığı | Molibden açıklığı ayarlanabilir dış vakum sistemi | |
| Numune Aşaması | Beş eksen aşaması | |
| Seyahat | X(Otomatik) | 0 ~ 80 mm |
| Menzil | Y(Otomatik) | 0 ~ 50mm |
| Z(Manuel) | 0 ~ 30mm | |
| R(Manuel) | 360° | |
| T(Manuel) | -5° ~ 70° | |
| Maksimum Numune Çapı | 175mm | |
| Dedektör |
İkincil elektron dedektörü
|
|
|
Yarı iletken BSE dedektörü※
|
||
|
Kızılötesi CCD
|
||
| Düşük vakumlu SED※/ Düşük vakumlu BSED ※
|
||
| Değişiklik | Aşama Yükseltme;EBL; STM; AFM; Isıtma Aşaması; Kriyo Aşaması; Çekme Aşaması; Mikro nano manipülatör; SEM+Kaplama Makinası;SEM+Lazer | |
| Aksesuarlar | LaB6,X-Ray Dedektörü(EDS),EBSD,CL,WDS,Kaplama Makinası | |
|
Düşük vakum fonksiyonu※
|
Vakum seviyesi 10-270Pa SE:4nm@30kv,50Pa
|
|