| 해결: | SE 1.5nm@15kV BSE 3nm@30kV | 확대: | 1x-600000x |
|---|---|---|---|
| 가속 전압: | 0.2kV-30kV | 최대 시편 직경: | 175mm |
| 강조하다: | 스캔 전자 현미경 기기,sem 기계 |
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장점:
◆ 쇼트키 전계 방출 총
◆ 다단계 고성능 렌즈 시스템
◆ 높은 빔 안정성
◆ 맞춤형 초대형 샘플 챔버
◆ 간단한 조작
◆ 풍부한 확장성과 높은 가성비
명세서:
| 목 | EM8010 | |
| 해결 |
SE 1.5nm@15kV BSE 3nm@30kV
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| 확대 |
1x-600000x
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| 전자총 | 쇼트키 전계방출총 | |
| 가속 전압 |
0.2kV-30kV
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진공 시스템
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이온 펌프 2개, 자기 부상 터보 분자 펌프 1개, 건식 펌프 1개
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| 대물 조리개 | 외부 진공 시스템으로 조절 가능한 몰리브덴 조리개 | |
| 시편 스테이지 | 5축 스테이지 | |
| 여행하다 | X(자동) | 0 ~ 80mm |
| 범위 | Y(자동) | 0 ~ 50mm |
| Z(수동) | 0 ~ 30mm | |
| R(수동) | 360° | |
| T(수동) | -5° ~ 70° | |
| 최대 시편 직경 | 175mm | |
| 탐지기 |
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| 가감 | 스테이지 업그레이드, EBL, STM, AFM, 가열 스테이지, 극저온 스테이지, 인장 스테이지, 마이크로나노 조작기, SEM+코팅 머신, SEM+레이저 | |
| 부속품 |
EDS/EBSD/STEM/CL/가열단계/냉각단계/인장단계 등
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담당자: Mr. Shawn Liu
전화 번호: 86-10-82548271
팩스: 86-010-62564613
