KYKY Field Emission Scanning Electron Microscope / Thiết bị kính hiển vi điện tử quét
Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường dòng EM80 được định vị là kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường nhiệt Schottky tiết kiệm với khả năng mở rộng phong phú và hiệu suất chi phí cao, được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực khác nhau như khoa học vật liệu, sinh học, y học, hóa học và khoa học ...
Thiết bị hiển vi điện tử quét
,máy sem
Thuận lợi:
◆ Súng phát xạ trường Schottky
◆ Hệ thống ống kính hiệu suất cao nhiều tầng
◆ Độ ổn định chùm tia cao
◆ Buồng mẫu cực lớn có thể tùy chỉnh
◆ Thao tác đơn giản
◆ Khả năng mở rộng phong phú và hiệu suất chi phí cao
Thông số kỹ thuật:
| Mục | EM8010 | |
| Nghị quyết |
SE 1,5nm@15kV BSE 3nm@30kV
|
|
| phóng đại |
1x-600000x
|
|
| Súng điện tử | Súng phát xạ trường Schottky | |
| Tăng tốc điện áp |
0,2kV-30kV
|
|
|
Hệ thống chân không
|
2 máy bơm ion, 1 máy bơm phân tử Turbo từ trường, 1 máy bơm khô
|
|
| Khẩu độ khách quan | Khẩu độ Molypden có thể điều chỉnh bên ngoài hệ thống chân không | |
| Giai đoạn mẫu vật | Giai đoạn năm trục | |
| Du lịch | X(Tự động) | 0 ~ 80mm |
| Phạm vi | Y(Tự động) | 0 ~ 50mm |
| Z(Thủ công) | 0 ~ 30mm | |
| R(Thủ công) | 360° | |
| T(Thủ công) | -5° ~ 70° | |
| Đường kính mẫu tối đa | 175mm | |
| máy dò |
|
|
| sửa đổi | Nâng cấp giai đoạn;EBL;STM;AFM;Giai đoạn gia nhiệt;Giai đoạn Cryo;Giai đoạn kéo;Bộ điều khiển micro-nano;SEM+Máy phủ;SEM+Laser | |
| Phụ kiện |
EDS/EBSD/STEM/CL/Giai đoạn gia nhiệt/Giai đoạn làm mát/Giai đoạn kéo, v.v.
|
|