| 解決: | SE 1.5nm@15kV BSE 3nm@30kV | 倍率: | 1x-600000x |
|---|---|---|---|
| 加速電圧: | 0.2kV～30kV | 最大試験片直径: | 175mm |
| ハイライト: | スキャニング電子顕微鏡機器,セムマシン |
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利点:
◆ショットキー電界放出銃
◆多段高性能レンズシステム
◆高いビーム安定性
◆ カスタマイズ可能な超大型サンプルチャンバー
◆簡単操作
◆豊富な拡張性と高いコストパフォーマンス
仕様:
| アイテム | EM8010 | |
| 解決 |
SE 1.5nm@15kV BSE 3nm@30kV
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| 倍率 |
1x-600000x
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| 電子銃 | ショットキー電界放出銃 | |
| 加速電圧 |
0.2kV～30kV
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真空システム
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イオンポンプ 2 台、磁気浮上ターボ分子ポンプ 1 台、ドライポンプ 1 台
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| 対物絞り | モリブデン絞りは外部真空システムで調整可能 | |
| 試料ステージ | 5軸ステージ | |
| 旅行 | X(自動) | 0～80mm |
| 範囲 | Y(自動) | 0～50mm |
| Z(マニュアル) | 0～30mm | |
| R(マニュアル) | 360° | |
| T(マニュアル) | -5°～70° | |
| 最大試験片直径 | 175mm | |
| 検出器 |
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| 修正 | ステージアップグレード;EBL;STM;AFM;加熱ステージ;クライオステージ;引張ステージ;マイクロナノマニピュレータ;SEM+コーティングマシン;SEM+レーザー | |
| 付属品 |
EDS/EBSD/STEM/CL/加熱ステージ/冷却ステージ/引張ステージ等
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コンタクトパーソン: Mr. Shawn Liu
電話番号: 86-10-82548271
ファックス: 86-010-62564613
