| Çözünürlük: | SE 1,5nm@15kV BSE 3nm@30kV | Büyütme: | 1x-600000x |
|---|---|---|---|
| Hızlanma Voltajı: | 0.2kV-30kV | Maksimum Numune Çapı: | 175mm |
| Vurgulamak: | tarama elektron mikroskop cihazları,sem makine |
||
Avantajları:
◆ Schottky saha emisyon tabancası
◆ Çok aşamalı yüksek performanslı lens sistemi
◆ Uzun far stabilitesi
◆ Kişiselleştirilebilir ekstra büyük numune odası
◆ Basit kullanım
◆ Zengin genişletilebilirlik ve yüksek maliyet performansı
Özellikler:
| Öğe | EM8010 | |
| Çözünürlük |
SE 1,5nm@15kV BSE 3nm@30kV
|
|
| Büyütme |
1x-600000x
|
|
| Elektron Tabancası | Schottky Saha Emisyon Tabancası | |
| Hızlanma Gerilimi |
0.2kV-30kV
|
|
|
Vakum Sistemi
|
2 İyon Pompası, 1 Manyetik Kaldırma Turbo Moleküler Pompa, 1 Kuru Pompa
|
|
| Objektif Açıklığı | Molibden açıklığı ayarlanabilir dış vakum sistemi | |
| Numune Aşaması | Beş eksen aşaması | |
| Seyahat | X(Otomatik) | 0 ~ 80 mm |
| Menzil | Y(Otomatik) | 0 ~ 50mm |
| Z(Manuel) | 0 ~ 30mm | |
| R(Manuel) | 360° | |
| T(Manuel) | -5° ~ 70° | |
| Maksimum Numune Çapı | 175mm | |
| Dedektör |
|
|
| Değişiklik | Aşama Yükseltme;EBL;STM;AFM;Isıtma Aşaması;Kryo Aşaması;Çekme Aşaması;Mikro-nano manipülatör;SEM+Kaplama Makinesi;SEM+Lazer | |
| Aksesuarlar |
EDS/EBSD/STEM/CL/Isıtma Aşaması/Soğutma Aşaması/Çekme Aşaması vb.
|
|
İlgili kişi: Mr. Shawn Liu
Tel: 86-10-82548271
Faks: 86-010-62564613